[发明专利]一种扫描标准具

权利要求书

1.一种扫描标准具，其特征在于：包括输入光纤、光波导和MEMS活动片；所述光波导位于输入光纤与MEMS活动片之间，一端与输入光纤光胶连接，另一端靠近MEMS活动片；输入光纤端面和MEMS活动片均镀高反膜，构成标准具的两个腔面；MEMS活动片的移动改变两腔面的间距，形成扫描标准具。

2.如权利要求1所述一种扫描标准具，其特征在于：所述光波导靠近MEMS活动片的端面镀增透膜，与MEMS活动片距离为1~2微米。

3.如权利要求1所述一种扫描标准具，其特征在于：所述MEMS活动片镀膜面的反射率为90%~99.5%。

4.如权利要求1所述一种扫描标准具，其特征在于：所述输入光纤由一光纤头固定；所述MEMS活动片由一设有通光孔的固定片固定；固定片后面设有微透镜和光接收端；经所述标准具滤波之后的输出光由通光孔输出，经微透镜会聚进入光接收端。

5.如权利要求4所述一种扫描标准具，其特征在于：所述光接收端为光纤接收器或PD探测器。

6.如权利要求1所述一种扫描标准具，其特征在于：所述光波导长度为10~50微米。

7.如权利要求1所述一种扫描标准具，其特征在于：所述光波导为一光纤段，或者一毛细管。

8.一种扫描标准具，其特征在于：包括输入光纤和MEMS活动片；所述输入光纤为TEC光纤，光纤端面纤芯处刻蚀一凹槽，凹槽面设有微凹面镜或微凸面镜，镜面镀有高反膜，与MEMS活动片构成标准具的两个腔面，MEMS活动片的移动改变两腔面的间距，形成扫描标准具。

9.如权利要求8所述一种扫描标准具，其特征在于：所述MEMS活动片由一设有通光孔的固定片固定；固定片后面设有微透镜和光接收端；经所述标准具滤波之后的输出光由通光孔输出，经微透镜会聚进入光接收端；所述光接收端为光纤接收器或PD探测器。

10.如权利要求8所述一种扫描标准具，其特征在于：所述凹槽深度为1~20微米；所述TEC光纤的光纤端面与MEMS活动片距离为5~50微米；所述微凹面镜或微凸面镜的曲率半径为20~50微米。