[发明专利]一种扫描标准具

说明书

技术领域

本发明涉及光学与激光领域，尤其涉及一种扫描标准具。

背景技术

标准具作为一种重要光学元件，广泛应用于通讯、光学测量领域。常规的标准具有两种，一是空气隙标准具，该空气隙标准具为空气隙或真空；二是直接在光学材料平行平片两面镀膜形成标准具。这两种标准具无一不对光学反射面的平行度要求极高，这无疑大大增加了标准具的加工难度和成本。

发明内容

针对上述问题，本发明提出一种光纤扫描标准具，对平行度要求较低，且制作容易。

为达到上述目的，本发明提出的技术方案为：一种扫描标准具，包括输入光纤、光波导和MEMS活动片；所述光波导位于输入光纤与MEMS活动片之间，一端与输入光纤光胶连接，另一端靠近MEMS活动片；输入光纤端面和MEMS活动片均镀高反膜，构成标准具的两个腔面；MEMS活动片的平移活动改变两腔面的间距，形成扫描标准具。

进一步的，所述光波导靠近MEMS活动片的端面镀增透膜，与MEMS活动片距离为1~2微米。

进一步的，所述MEMS活动片镀膜面的反射率为90%~99.5%。

进一步的，所述输入光纤由一光纤头固定；所述MEMS活动片由一设有通光孔的固定片固定；固定片后面设有微透镜和光接收端；经所述标准具滤波之后的输出光由通光孔输出，经微透镜会聚进入光接收端。

进一步的，所述光接收端为光纤接收器或PD探测器。

进一步的，所述光波导长度为10~50微米。

进一步的，所述光波导为一光纤段，或者一毛细管。

本发明的另一技术方案为一种扫描标准具，包括输入光纤和MEMS活动片；所述输入光纤为TEC光纤，光纤端面纤芯处刻蚀一凹槽，凹槽面设有微凹面镜或微凸面镜，镜面镀有高反膜，与MEMS活动片构成标准具的两个腔面，MEMS活动片的移动改变两腔面的间距，形成扫描标准具。

进一步的，所述MEMS活动片由一设有通光孔的固定片固定；固定片后面设有微透镜和光接收端；经所述标准具滤波之后的输出光由通光孔输出，经微透镜会聚进入光接收端；所述光接收端为光纤接收器或PD探测器。

进一步的，所述凹槽深度为1~20微米；所述TEC光纤的光纤端面与MEMS活动片距离为5~50微米；所述微凹面镜或微凸面镜的曲率半径为20~50微米。

本发明的有益效果为：本发明采用光纤端面与MEMS端面作为标准具的两个腔面，且光纤端面与MEMS腔面间距极小，使得光纤端面与MEMS腔面的平行度对标准具精度的影响大大降低，从而可降低对两腔面平行度的要求，使得标准具的制作更加容易。

附图说明

图1为本发明的扫描标准具实施例一结构示意图；

图2为本发明的扫描标准具实施例二结构示意图。

附图标记：1、输入光纤；2、MEMS活动片；3、光波导；4、光纤头；5、固定片；51、通光孔；6、微透镜；7、光接收端；8、TEC光纤；81、微凹面镜；S1、高反膜；S2、增透膜。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式，对本发明做进一步说明。

本发明的扫描标准具，利用光纤端面与MEMS活动片构成扫描标准具的两个腔面，通过MEMS活动平片的移动实现扫描功能。在光纤端面与MEMS活动片之间设置一光波导，与光纤端面深化光胶，光波导另一端面与MEMS活动片间距极小，使得光纤端面与MEMS活动片腔面的平行度对标准具精度的影响大大降低，从而可降低对两腔面平行度的要求，使得标准具的制作更加容易。或者是在光纤端面纤芯处制作微凹面镜或微凸面镜，并镀高反膜，与MEMS活动片构成扫描标准具的两个腔面，在较短距离内，光通过微凹面镜或微凸面镜反射后仍近似平行，可获得较佳的光斑尺寸，即近似在微凹面镜或微凸面镜与MEMS活动片之间形成振动腔，降低标准具对平行度的要求，从而使得标准具的制作更加简便容易。