[发明专利]掩膜版传送盒以及降低掩膜版污染的方法无效
| 申请号： | 201210343549.1 | 申请日： | 2012-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN102866577A | 公开（公告）日： | 2013-01-09 |
| 发明（设计）人： | 朱骏;马兰涛;严峰;张旭升 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F1/66 | 分类号： | G03F1/66 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 竺路玲 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 掩膜版 传送 以及 降低 污染 方法 | ||
1.一种掩膜版传送盒，其特征在于，包括上盒盖和下盒盖，其中，在所述上盒盖和下盒盖的内表面均涂覆有粘附层；上盒盖和下盒盖合在一起组成封闭环境。
2.根据权利要求1所述的掩膜版传送盒，其特征在于，所述粘附层由不含有挥发性物质的材料制备。
3.根据权利要求1所述的掩膜版传送盒，其特征在于，所述粘附层不含有铵根离子、无机酸根离子。
4.根据权利要求1所述的掩膜版传送盒，其特征在于，所述粘附层厚度为≤1mm。
5.根据权利要求1所述的掩膜版传送盒，其特征在于，所述粘附层材料为在-20~100℃范围内性能稳定的材料。
6.一种降低掩膜版污染的掩膜版传送盒，其特征在于，放置掩膜版的掩膜版传送盒包括上盒盖和下盒盖，上盒盖和下盒盖合在一起组成封闭环境；其中，在所述上盒盖和下盒盖的内表面均涂覆有粘附层。
7.根据权利要求6所述的掩膜版传送盒，其特征在于，所述的掩膜版为5英寸、6英寸、7英寸掩膜版中的任意一种。
8.根据权利要求6所述的掩膜版传送盒，其特征在于，所述粘附层厚度为≤1mm。
9.根据权利要求6所述的掩膜版传送盒，其特征在于，所述粘附层由不含有挥发性物质的材料制备；所述粘附层不含有铵根离子、无机酸根离子。
10.一种制作权利要求1所述掩膜版传送盒的方法，其特征在于，步骤包括：制作上盒盖和下盒盖，上盒盖和下盒盖扣合后能够组成封闭的环境；并且在上盒盖和下盒盖的内表面涂覆粘附层。
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