[发明专利]洁净机器人

说明书

技术领域

本发明涉及洁净机器人(clean robot)，该洁净机器人具有防止机器人内部产生的粉尘等释放到外部的功能。

背景技术

已知有为用于电子元件的安装等而以不向外部释放至少在装置内部产生的粉尘等的方式构成的洁净机器人。该洁净机器人能防止外部粉尘或水滴进入装置内部，或防止装置内部的粉尘或油滴飞散至外部，其作为防尘防滴规格或洁净室规格的机器人是公知的洁净机器人。

作为这样的洁净机器人，已知有例如日本专利公开公报特开2011-101907号（以下，称作专利文献1）中记载的洁净机器人。该公报中公开的洁净机器人是具有转动臂的关节型机器人(SCARA机器人)。转动臂上具备用于电子元件的安装等的工作轴（主轴）、以及使该工作轴沿轴心方向进退或者绕轴心转动的驱动机构。由于粉尘或油滴的产生源在驱动机构周围，所以转动臂包括覆盖该驱动机构的盖。工作轴的上下两端从转动臂延伸至外部，该工作轴进退自如地保持在转动臂上。为此，在转动臂上还设置有与工作轴的进退相应地伸缩的蛇腹部件。

详细而言，在转动臂与工作轴的下端部之间设置有覆盖该工作轴的下侧蛇腹部件。转动臂的内部空间与下侧蛇腹部件的内部空间相连通，当工作轴的下端部从转动臂伸出时下侧蛇腹部件延伸，从而下侧蛇腹部件的内部空间扩大，空气从转动臂的内部空间流入下侧蛇腹部件内。另外，在转动臂与该工作轴的上端部之间设置有覆盖该工作轴的上侧蛇腹部件。转动臂的内部空间与上侧蛇腹部件的内部空间相连通，当工作轴的下端部从转动臂伸出时上侧蛇腹部件收缩，从而上侧蛇腹部件的内部空间收缩，空气流入转动臂的内部空间。

因此，当工作轴的下端部从转动臂伸出时，上侧蛇腹部件收缩而下侧蛇腹部件延伸，反之，当工作轴的下端部向收纳到转动臂中的方向后退时，上侧蛇腹部件延伸而下侧蛇腹部件收缩。这样，基于上侧蛇腹部件的伸缩及下侧蛇腹部件的伸缩，转动臂、上侧蛇腹部及下侧蛇腹部的总内部空间的容积保持为一定。转动臂的内部为防止粉尘等的排出而维持负压，而通过这样使总内部空间的容积保持为一定，能更切实地维持内部的负压。

此外，由于这样的洁净机器人如上所述是用于电子元件的安装等的机器人，因此需要工作轴更高速且更平顺地工作以提高生产率。然而，上述专利文献1的机器人中，上侧蛇腹部件及下侧蛇腹部件均被工作轴穿过各自的内部，当上侧蛇腹部件及下侧蛇腹部件随着工作轴的移动而伸缩时，内部空气便流动于工作轴与各蛇腹部件之间。因此，转动臂内的空气流动未必平顺，在使工作轴更高速且更平顺地工作方面尚有改善余地。

发明内容

本发明的目的在于提供一种洁净机器人，其以不向外部释放在其内部产生的粉尘的方式构成，能够使工作轴更高速且更平顺地工作。

本发明所涉及的洁净机器人包括：工作轴，具有第一端部及该第一端部相反侧的第二端部；驱动机构，驱动所述工作轴沿与该工作轴的轴心平行的方向进退；盖部，以仅所述工作轴的第一端部伸出至外部的状态覆盖该工作轴及所述驱动机构；容积维持机构，具有在所述盖部的外侧以覆盖所述工作轴的伸出部分的状态固定在该工作轴的所述第一端部与所述盖部之间的第一伸缩部、以及在所述盖部的内侧固定在所述工作轴的第二端部与所述盖部之间的第二伸缩部，将由所述盖部和所述第一伸缩部各自具有的内表面及所述第二伸缩部具有的外表面所划定的空间的总内部空间的容积保持为一定；其中，随着所述工作轴的所述第一端部基于所述驱动机构的工作而从所述盖部伸出，所述第一伸缩部相对于所述盖部向所述工作轴的轴方向外侧延伸，随着所述工作轴的所述第一端部基于所述驱动机构的工作而从所述盖部延伸出，所述第二伸缩部在所述盖部的内侧向与所述第一伸缩部的延伸方向相同的方向延伸。

根据本发明，能够使洁净机器人的工作轴更高速且更平顺地工作。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式的洁净机器人的升降旋转驱动单元的概略结构的剖视图。

图2是将图1所示的上侧蛇腹状部件近傍放大的图。

图3是表示图1所示的下侧蛇腹状部件近傍的变形例的图。

图4是表示与图3对应的上侧蛇腹状部件近傍的变形例的图。

图5是表示本实施方式的洁净机器人中设置作为变形例的抑制机构的例的图。

具体实施方式

下面，参照附图对本发明的实施方式进行说明。为使说明容易理解，在各附图中尽量对同一结构要素标附同一符号并省略重复说明。