[发明专利]聚合物材料及其应用无效
| 申请号： | 201210346914.4 | 申请日： | 2012-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN103676481A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | 苏佳乐 | 申请（专利权）人： | 无锡华润上华半导体有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/038 | 分类号： | G03F7/038;B81C3/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 常亮 |
| 地址： | 214028 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 聚合物 材料 及其 应用 | ||
【权利要求书】：
1.一种聚合物材料，其特征在于：所述聚合物材料包含有SU8和表面活性剂。
2.根据权利要求1所述的聚合物材料，其特征在于：所述表面活性剂在所述聚合物材料中的质量比为9%~11%。
3.根据权利要求2所述的聚合物材料，其特征在于：所述表面活性剂在所述聚合物材料中的质量比为10%。
4.权利要求1至3任一所述的聚合物材料在键合中的应用。
5.根据权利要求4所述的聚合物材料，其特征在于：所述键合的温度为170~200度。
6.根据权利要求4所述的聚合物材料，其特征在于：所述键合的压强为0.5~1bar。
7.根据权利要求4所述的聚合物材料，其特征在于：所述键合包括玻璃/玻璃键合、硅/玻璃键合、硅/硅键合或晶片/硅键合。
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