[发明专利]一种无坩埚快速生长厘米量级Ti:Ta2O5晶体的方法有效

专利信息
申请号: 201210353144.6 申请日: 2012-09-20
公开(公告)号: CN102912438A 公开(公告)日: 2013-02-06
发明(设计)人: 蒋毅坚;徐宏;马云峰;王越 申请(专利权)人: 北京工业大学
主分类号: C30B29/16 分类号: C30B29/16;C30B13/00
代理公司: 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 代理人: 张慧
地址: 100124 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
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【权利要求书】:

1.一种无坩埚快速生长厘米量级Ti:Ta2O5晶体的方法,包括以下步骤:

(1)配料和料棒制备:将纯度不低于99.99%TiO2和Ta2O5的粉料按照化学计量比经过混合球磨、预烧;将预烧后的多晶粉料装入橡胶管中,然后放入等静压下压制成棒状的多晶棒;

(2)料棒和籽晶安装:将步骤(1)压制好的一根多晶棒固定在单晶炉的中轴线上部料棒杆上作为料棒,将另一根多晶棒放入中轴线的下部作为籽晶,籽晶和料棒在竖直方向成一条直线,调节料棒和籽晶的位置,使其接触,接触点与卤素灯处于同一水平线上;

(3)晶体生长:设置升温速率,用0.5-1h升温至料棒和籽晶融化,调整料棒和籽晶的转速和旋转方向,待形成稳定溶区后接种;通过聚焦镜的移动,形成组分过冷,实现结晶;

(4)降温冷却:设置降温时间,将生长完的晶体冷却至室温。

2.按照权利要求1的方法,其特征在于,步骤(1)中TiO2掺杂Ta2O5化学计量比范围是:TiO2占掺杂的Ta2O5的摩尔百分比不高于10at%,粉料的预烧温度为1350℃,预烧时间为12~24小时。

3.按照权利要求1的方法,其特征在于,(3)的晶体生长过程中,料棒和籽晶的旋转方向为反向,旋转速度为10~30rpm,设置晶体生长速度进行晶体生长,晶体生长速度为3-8mm/h。

4.按照权利要求1的方法,其特征在于,步骤(4)中降温时间为0.5~1.5h。

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