[发明专利]研磨装置和研磨方法

说明书

相关申请的交叉参考

本申请包含与2011年9月30日向日本专利局提交的日本优先权专利申请JP 2011-218469所公开的内容相关的主题，因此将该日本优先权申请的全部内容以引用的方式并入本文。

技术领域

本发明涉及对诸如表面已经平滑化的玻璃板和液晶显示器中所使用的显示板等对象进行研磨的研磨装置和研磨方法。

背景技术

近年来，除了仅具有语音通信功能的传统移动电话之外，能够兼用作移动式个人电脑的先进移动电话（被称为“智能手机”）都已经变得常见。在很多情况下，在这样的移动式终端设备的显示单元中使用了诸如液晶面板或有机电致发光（electroluminescence；EL）面板等平板显示器（flat panel display；FPD）。在被安装至移动式终端设备之前，平板显示器（或者，下文中称为“显示面板”）的表面（和背面）要经过研磨。作为一个示例，如图11中所示，在通过将滤色器15和薄膜晶体管（Thin Film Transistor；TFT）基板16结合起来（即，粘接在一起）而制造出的液晶面板的研磨工序中，需要使液晶面板更薄并且更坚固。滤色器15和TFT基板16都以玻璃基板作为主要部件。

已知双面研磨机是能够对显示面板进行研磨的研磨机。双面研磨机能够以如下方式对被研磨工件的两个表面同时进行研磨：使具有用于夹持工件的保持孔的行星齿轮架（planetary carrier）以周转的方式（epicyclically）运动，并且在上表面盘与下表面盘之间对保持孔中的工件进行研磨。在研磨期间，从上表面盘供给的浆料（磨料）被置于上表面盘与下表面盘之间，从而使得能够对工件的表面进行研磨。

作为对工件的研磨技术的示例，日本专利特开昭第61-230866号公报披露了在定位孔的任意位置处设置有缺口（cutaway）以便在对工件的一个表面进行研磨（单面搁置）的情况下易于取出工件，而日本专利特开第2001-198805号公报披露了一种对工件进行研磨并且具有间隙部（注入孔5）的研磨装置，这些间隙部设置于工件夹持件中的大致呈矩形的凹槽孔2的四个角处。

然而，当使用强度测试仪来测量已经用双面研磨机研磨过的显示面板的断裂强度时，如图12A及图12B所示，发现了两种断裂模式。图12A示出了起点位于端面处的断裂21，图12B示出了起点位于表面中间位置处的断裂22。在根据JIS方法的强度测试中多数发生的是起点位于端面处的断裂。在根据DIG方法的强度测试中多数发生的是起点位于表面中间位置处的断裂。

近来，移动式终端设备的功能性正在迅速发展，并且携带这样的移动式终端设备的人群数量不断增长。与这样的用户趋势相一致的是，期望具有更高断裂强度的显示面板。

日本专利特开昭第61-230866号公报中所披露的研磨机无法提高被研磨后的工件的强度，并且其目的不是提高工件的强度。关于根据日本专利特开第2001-198805号公报的研磨装置，由于在工件的端面（侧面）与工件保持用夹具（workpiece holding jig）的凹槽孔2的边缘之间在包含该边缘的中心的较长区域中存在着接触，所以工件的强度会降低。

发明内容

鉴于上述情况，本发明的目的在于：在利用诸如双面研磨机等使用了行星齿轮架的研磨装置来进行研磨的过程中，至少防止显示面板出现以端面为起点的断裂。

本发明实施例的研磨装置包括：上表面盘；下表面盘，所述下表面盘被设置成面对着所述上表面盘并且在与所述上表面盘的旋转方向相反的方向上旋转；太阳齿轮，所述太阳齿轮绕着所述上表面盘和所述下表面盘共同的旋转轴旋转；内齿轮，所述内齿轮绕着所述上表面盘和所述下表面盘共同的所述旋转轴旋转；以及行星齿轮架，在所述行星齿轮架中形成有用于保持工件的保持孔，并且所述行星齿轮架在与所述太阳齿轮及所述内齿轮咬合着进行自转的同时公转。所述行星齿轮架中的所述保持孔设置有缺口，所述缺口位于当所述行星齿轮架自转时所述保持孔的与所述工件的侧面接触的那一侧。