[发明专利]一种金属氧化物边缘场开关型液晶显示面板及其制造方法

权利要求书

1.一种金属氧化物边缘场开关型液晶显示面板，其特征在于，包括：

扫描线；

信号线，与扫描线纵横交叉，所述信号线包括第一信号线、相邻像素单元的第二信号线和位于第一信号线和第二信号线之间的信号线连接线；

像素单元，由扫描线和信号线交叉限定，所述每个像素单元包括薄膜晶体管和像素电极，所述薄膜晶体管包括与扫描线电性连接的TFT栅极、与信号线连接线电性连接的TFT源极、以及与像素电极电性连接的TFT漏极，所述TFT源极、TFT漏极及像素电极位于底层；

栅格状共通电极，位于顶层；

第一绝缘层，覆盖在TFT源极、TFT漏极和像素电极之上；

共通电极线，与所述栅格状共通电极线电性连接；

第二绝缘层，覆盖在信号线、扫描线和共通电极线之上。

2.一种金属氧化物边缘场开关型液晶显示面板，其特征在于，包括：

扫描线，位于顶层；

信号线，与扫描线纵横交叉，所述信号线包括第一信号线、相邻像素单元的第二信号线和位于第一信号线和第二信号线之间的信号线连接线；

像素单元，由扫描线和信号线交叉限定，所述每个像素单元包括薄膜晶体管和栅格状像素电极，所述薄膜晶体管包括与扫描线电性连接的TFT栅极、与信号线连接线电性连接的TFT源极、以及与像素电极电性连接的TFT漏极；

共通电极，位于底层；

第一绝缘层，覆盖在共通电极之上；

共通电极线，位于顶层与所述共通电极线电性连接；

第二绝缘层，覆盖在信号线连接线、TFT源极、TFT漏极以及栅格状像素电极之上。

3.根据权利要求1或2所述的液晶显示面板，其特征在于：所述信号线连接线、TFT源极、TFT漏极以及像素电极为金属氧化物，其上通过离子注入方式成为具有导体特性的透明电极。

4.根据权利要求1或2所述的液晶显示面板，其特征在于：所述TFT源极与TFT漏极之间设有保护层。

5.一种金属氧化物边缘场开关型液晶显示面板的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：

第一步：基板上形成底层金属氧化物层，具体形成：像素电极图案、源漏极连接线图案、以及信号线连接线图案；

第二步：在源漏极连接线之间形成保护层图案，然后利用离子注入方式让保护层以外的金属氧化物成为具有导体特性的透明电极；

第三步：在形成第二步图案的基础形成第一绝缘层图案，并在信号线连接的两端形成第一接触孔和第二接触孔；

第四步：在第一绝缘层图案上以金属形成信号线、扫描线、共通电极线、以及TFT栅极图案；

第五步：在形成第四步图案的基础上形成第二绝缘层，并在扫描线和共通电极线相应位置上形成接触孔图案；

第六步：在第二绝缘层上形成栅格状共通电极图案，所述栅格状共通电极通过接触孔电连接共通电极线。

6.一种金属氧化物边缘场开关型液晶显示面板的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：

第一步：基板上形成共通电极图形；

第二步：在共通电极上形成第一绝缘层，并在共通电极上形成第一接触孔图形；

第三步：在第一绝缘层形成金属氧化物层，具体形成：栅格状像素电极图案、与栅格状像素电极图案连接的源漏极连接线图案、以及与源漏极连接线连接的信号线连接线图案，所述栅格状像素电极通过第一接触孔连接共通电极与共通电极连接线；

第四步：在源漏极连接线上形成保护层图形，然后利用离子注入方式让沟道保护层图形以外的金属氧化物成为具有导体特性的透明电极；

第五步：在形成第四步图案的基础上形成第二绝缘层，并在信号线连接线位置的两端形成第二接触孔和第三接触孔、在共通电极连接线的相应位置上形成第四接触孔图形；

第六步：在第二绝缘层上以金属形成信号线、扫描线、共通电极线、以及与扫描线连接的TFT栅极的图案，通过信号线位置通过相邻的信号线连接线的第二接触孔和第三接触孔连接，通过共通电极连接线上的第四接触孔连接共通电极连接线与共通电极线。

7.根据权利要求5或6所述的液晶显示面板的制造方法，其特征在于：所述第一绝缘层和第二绝缘层的材料均是SiNx或SiO₂。

8.根据权利要求5或6所述的液晶显示面板的制造方法，其特征在于：所述保护层图形的材料是SiNx或SiO2。