[发明专利]对基板进行烤焙处理的装置及方法

说明书

【技术领域】

本发明涉及一种液晶显示器的技术领域，特别涉及一种对基板进行烤焙处理的装置及方法。

【背景技术】

传统的液晶基板的生产制造过程中需要对玻璃基板上的PI(Polyimide，聚酰亚胺)液进行预烤焙(Prebake)，烤焙的方式是利用红外线辐射玻璃基板，将玻璃基板加热到90摄氏度，使PI液中的溶剂蒸发，提高PI的浓度。在上述烤焙的过程中，一般会使用支撑针来支撑玻璃基板，但是由于支撑针的材质不是完全绝热的，因此玻璃基板上的接触区域(玻璃基板上与支撑构件接触的区域)与非接触区域(玻璃基板上没有与支撑构件接触的区域)存在导热速率的差别，使得玻璃基板受热不均，造成玻璃基板上出现斑点(Mura)缺陷，降低了玻璃基板的良率。

为了防止玻璃基板上出现斑点，现有技术上有两种解决方案：一是采用绝热性能更好的材料来作为支撑针的材料，以减少玻璃基板上和支撑针接触的区域与其它区域的温度差；二是改良支撑针的支撑方式，例如通过控制多个支撑针轮流(交替)支撑玻璃基板来减少支撑针与玻璃基板在同一个地方接触的时间，即首先使用一些支撑针支撑玻璃基板，在预定时间过后使用另一些支撑针支撑玻璃基板。

上述这两种解决方案都不能有效地防止玻璃基板上出现斑点，原因是：一、上述两种技术方案不能杜绝玻璃基板上不同区域之间温差的存在；二、上述两种技术方案中，支撑针支撑玻璃基板会使得玻璃基板与支撑针接触的区域压强过大，从而造成玻璃基板形变，使玻璃基板受热不均，在烤焙的过程中出现斑点；三、上述两种技术方案中，支撑针为针状，不利于保持玻璃基板在烤焙过程中的平坦度，容易造成玻璃基板上出现光环(Halo)区斑点。

因此，有必要提出一种新的技术方案，以解决玻璃基板上出现斑点的技术问题。

【发明内容】

本发明的一个目的在于提供一种对基板进行烤焙处理的装置，其能有效防止基板上出现斑点缺陷。

为解决上述问题，本发明优选实施例提供了一种对基板进行烤焙处理的装置，其包括：支撑平台、多个支撑针、加热单元、及绝热层。所述支撑平台具有一支撑面及一底面。所述多个支撑针设置于所述支撑平台中，所述多个支撑针可移动地伸出于所述支撑面，用于顶起所述基板。所述加热单元用于对所述基板进行加热。所述绝热层对应所述支撑平台的所述底面设置，用于防止所述加热单元对所述支撑平台加热。

在本优选实施例的对基板进行烤焙处理的装置中，所述加热单元包括一第一电热板及一第二电热板，所述第一电热板设置于所述多个支撑针之上，且所述基板位于所述第一电热板与所述支撑针之间；所述第二电热板设置于所述支撑平台之下且面对所述支撑平台的所述底面。进一步地说，所述绝热层用于隔绝所述第二电热板对所述支撑平台加热。优选地，所述绝热层是由多孔材料、热反射材料、或真空材料所制成。

在本优选实施例的对基板进行烤焙处理的装置中，所述支撑平台开设有多个通孔，所述多个通孔用于收容所述多个支撑针。当所述多个支撑针伸出于所述支撑面时，所述基板由所述多个支撑针顶起；当所述多个支撑针收容于所述多个通孔时，所述基板被放置于所述支撑面上。此外，当所述基板被顶起时，所述加热单元停止加热；当所述基板被放置于所述支撑面时，所述加热单元进行加热。

本发明的另一个目的在于提供一种对基板进行烤焙处理的方法，其能有效防止基板在烤焙处理中出现斑点缺陷。

为解决上述问题，本发明优选实施例提供了一种对基板进行烤焙处理的方法，其利用支撑平台、设置于所述支撑平台中多个支撑针、及加热单元；所述方法包括下列步骤：将所述多个支撑针伸出于所述支撑平台的支撑面；放置所述基板于所述多个支撑针上；将所述多个支撑针缩回于所述支撑平台中，使得所述基板被放置于所述支撑面上；将绝热层设置于对应所述支撑平台的底面；及采用所述加热单元对所述基板进行加热。

在本优选实施例的对基板进行烤焙处理的方法中，所述加热步骤包括：将第一电热板设置于所述多个支撑针之上，且所述基板位于所述第一电热板与所述支撑针之间；及将第二电热板设置于所述支撑平台之下且面对所述支撑平台的所述底面。具体来说，所述绝热层设置于所述第二电热板与所述支撑平台之间。