[发明专利]玻璃基板层叠工具、玻璃基板的端面研磨方法及制造方法

权利要求书

1.一种玻璃基板层叠工具，用于将在中心部具有圆孔的圆盘形状的磁记录介质用玻璃基板层叠而成的玻璃基板层叠体的外周端面研磨及/或内周端面研磨，其特征在于，

具有轴，所述轴被插入到所述磁记录介质用玻璃基板的圆孔，支撑所述玻璃基板层叠体的内周端面，进行所述磁记录介质用玻璃基板的对位，

所述轴具备：紧定螺栓嵌合部，能够在轴的两端嵌合紧定螺栓；及轴固定部，在轴的周围支撑玻璃基板层叠体。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板层叠工具，其中，

所述玻璃基板层叠工具在进行所述玻璃基板层叠体的外周端面研磨时具有能够与所述紧定螺栓嵌合部嵌合的紧定螺栓。

3.根据权利要求1或2所述的玻璃基板层叠工具，其中，

所述玻璃基板层叠工具在进行所述玻璃基板层叠体的内周端面研磨时还具有内周端面研磨工具，该内周端面研磨工具为能够将所述玻璃基板层叠体固定在内部的结构，

所述内周端面研磨工具在将所述玻璃基板层叠体固定在所述内周端面研磨工具的内部后能够抽出所述轴。

4.根据权利要求1~3中任意一项所述的玻璃基板层叠工具，其中，

在所述紧定螺栓的一方的端部凸出设置有轴嵌合部，

所述轴嵌合部从前端部开始依次具有未形成螺纹牙的凸型圆筒部及螺纹部，

所述紧定螺栓嵌合部具有与轴嵌合部的形状相对应的凹型圆筒部及螺纹部，

所述凸型圆筒部与所述凹型圆筒部以相互嵌合的方式构成。

5.根据权利要求1~4中任意一项所述的玻璃基板层叠工具，其中，

所述轴的至少与磁记录介质用玻璃基板接触的部分通过由类金刚石镀膜构成的保护膜进行涂层。

6.一种磁记录介质用玻璃基板的端面研磨方法，使用了权利要求1~5中任意一项所述的玻璃基板层叠工具，其中，

在保持有玻璃基板层叠体的所述轴的所述紧定螺栓嵌合部上安装紧定螺栓，对所述玻璃基板层叠体的外周端面进行研磨，

将保持有玻璃基板层叠体的所述轴固定于内周端面研磨工具，在将所述玻璃基板层叠体固定于内周端面研磨工具后，抽出所述轴，对所述玻璃基板层叠体的内周端面进行研磨。

7.根据权利要求6所述的磁记录介质用玻璃基板的端面研磨方法，其中，

所述玻璃基板层叠体交替层叠有磁记录介质用玻璃基板和垫片。

8.根据权利要求7所述的磁记录介质用玻璃基板的端面研磨方法，其中，

所述垫片为外径比所述磁记录介质用玻璃基板的外径小且内径比所述磁记录介质用玻璃基板的圆孔直径大的圆盘形状。

9.根据权利要求6~8中任意一项所述的磁记录介质用玻璃基板的端面研磨方法，其中，

在进行外周端面研磨后，进行内周端面研磨。

10.一种磁记录介质用玻璃基板的制造方法，包括：

端面研磨工序，对磁记录介质用玻璃基板的内周端面及外周端面进行研磨；

主平面研磨工序，对磁记录介质用玻璃基板的主平面进行研磨；及

磁记录介质用玻璃基板的清洗工序；其中，

所述端面研磨工序使用权利要求6~9中任意一项所述的磁记录介质用玻璃基板的端面研磨方法来对磁记录介质用玻璃基板进行端面研磨。