[发明专利]玻璃基板层叠工具、玻璃基板的端面研磨方法及制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及玻璃基板层叠工具、使用了该工具的磁记录介质用玻璃基板的端面研磨方法及使用了该端面研磨方法的磁记录介质用玻璃基板的制造方法。

背景技术

磁盘记录装置等所使用的圆盘形状的磁盘以往使用铝合金基板。但是近年来，随着高密度记录化的要求，比铝合金基板硬且平面性和平滑性优异的玻璃基板成为主流。

磁记录介质用玻璃基板在其制造工序中，有对玻璃基板的平面及端面（内外周面）实施磨削、研磨等加工的加工工序。而且，作为提高在对玻璃基板的端面进行研磨时的作业效率的方法，使用形成将多片玻璃基板在面方向上重叠而成的玻璃基板层叠体并同时对多个玻璃基板的端面进行研磨的方法。

玻璃基板的端面研磨对外周面和内周面两方进行。因此，如上所述对玻璃基板层叠体进行研磨时，以往，暂时在外周端面研磨用工具上层叠玻璃基板，进行外周端面研磨，之后，暂时将玻璃基板层叠体解体，在内周端面研磨用工具上再次层叠玻璃基板，然后进行内周端面研磨。

然而，根据该方法，在外周端面研磨和内周端面研磨的工序之间，需要将玻璃层叠体解体，存在再次层叠的操作时的操作失误、或当再次层叠玻璃基板时由于在玻璃基板之间夹有异物而对玻璃基板造成损伤的情况。另外，由于工序数量较多，生产率上也存在问题。

为了解决该问题，对无需将玻璃基板层叠体解体即可连续进行外周端面研磨和内周端面研磨的工具进行了研究（例如专利文献1）。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本国特开2003-159639号公报

但是，在专利文献1中，通过螺栓固定将玻璃基板沿着上下设置的板，成为夹住玻璃基板的结构，因此存在要花费工夫装配装置并容易产生装配误差的问题。而且，由于部件较多，在维护性上也存在问题。

而且，在专利文献1中，当对玻璃基板层叠体的外端部进行研磨时，将第一板接触玻璃基板层叠体的两端部，通过插通玻璃基板层叠体的内孔的第一板连结件，固定第一板而夹紧玻璃基板。然而，由于第一板连结件的直径比玻璃基板层叠体的内孔的直径小，因此在研磨工序中，玻璃基板有可能错位。此时，也有可能产生得到的玻璃基板的同心度降低、玻璃基板的圆孔部（内周部）或外周部的圆度降低等有关加工精度的问题。

发明内容

本发明鉴于上述现有技术具有的问题，其目的在于提供一种玻璃基板层叠工具，能够提高端面研磨工序中的加工精度、生产率，容易操作，而且，无需将玻璃基板层叠体解体即可进行外周端面研磨和内周端面研磨。

为了解决上述课题，本发明提供一种玻璃基板层叠工具，用于将在中心部具有圆孔的圆盘形状的磁记录介质用玻璃基板层叠而成的玻璃基板层叠体的外周端面研磨及/或内周端面研磨，其特征在于，具有轴，所述轴被插入到所述磁记录介质用玻璃基板的圆孔，支撑所述玻璃基板层叠体的内周端面，进行所述磁记录介质用玻璃基板的对位，所述轴具备：紧定螺栓嵌合部，能够在轴的两端嵌合紧定螺栓；及轴固定部，在轴的周围支撑玻璃基板层叠体。

发明效果

本发明在形成玻璃基板层叠体时通过轴支撑内周端面，因此能够高精度地设置、固定磁记录介质用玻璃基板（以下也简称为“玻璃基板”）。因此，能够提高加工精度，能够提高得到的玻璃基板的同心度及圆度。而且，由于部件的件数较少，因此不易产生装配误差，也能够使维护性提高。而且，即使在对内周端面及外周端面进行研磨时，也能够不将玻璃基板层叠体解体而连续地进行，因此即使在对两端面进行研磨时也能够防止对玻璃基板产生损伤，提高成品率和生产率。

附图说明

图1是本发明所涉及的轴的说明图。

图2是本发明所涉及的第一实施方式中的外周端面研磨时的结构说明图。

图3是本发明所涉及的第一实施方式中的紧定螺栓的说明图。

图4是关于本发明所涉及的第一实施方式中的内周端面研磨工具的说明图。

图5是关于本发明所涉及的第一实施方式中的内周端面研磨工具的说明图。

图6（A）及6（B）是关于本发明所涉及的第一实施方式中的玻璃基板层叠体的说明图。

附图标记

10轴

12轴固定部

13紧定螺栓嵌合部

25玻璃基板层叠体

26紧定螺栓

60玻璃基板

61垫片

具体实施方式

以下，参照附图对用于实施本发明的方式进行说明，但本发明并未限定于下述实施方式，在不脱离本发明的范围的情况下能够对下述实施方式加以各种变形及替代。