[发明专利]用于显示装置的基板及其制造方法有效
申请号: | 201210367213.9 | 申请日: | 2012-09-28 |
公开(公告)号: | CN103035567A | 公开(公告)日: | 2013-04-10 |
发明(设计)人: | 金伦吾;林钟千;刘宰显 | 申请(专利权)人: | 乐金显示有限公司 |
主分类号: | H01L21/77 | 分类号: | H01L21/77;H01L27/12;G02F1/1362 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 吕俊刚;刘久亮 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 显示装置 及其 制造 方法 | ||
1.一种制造用于显示装置的基板的方法,所述方法包括以下步骤:
在所述基板的有源区域内形成第一图案,并同时在所述有源区域的角区域形成第一交叠图案;以及
在所述基板的所述有源区域内形成第二图案,并同时在所述有源区域的角区域形成第二交叠图案,
其中,所述第一交叠图案包括沿预定方向设置的标度,并且所述第二交叠图案包括沿所述预定方向设置的标度以面对所述第一交叠图案的标度。
2.如权利要求1所述的方法,其中,所述第一交叠图案包括:第一子图案,其具有沿第一方向设置的标度;以及第二子图案,其具有沿与第一方向不同的第二方向设置的标度,
其中,所述第二交叠图案包括:第三子图案,其具有沿所述第一方向设置的标度;以及第四子图案,其具有沿所述第二方向设置的标度,并且
其中,所述第一子图案和所述第三子图案彼此对称地相面对,所述第二子图案和所述第四子图案彼此对称地相面对。
3.如权利要求1所述的方法,其中,所述第一交叠图案还包括所述标度的编号、所述编号的符号和表示所述第一图案的标题中的至少一个,并且
其中,所述第二交叠图案还包括所述标度的编号、所述编号的符号和表示所述第二图案的标题中的至少一个。
4.如权利要求1所述的方法,其中,在所述有源区域内的一个角区域形成多个所述第一交叠图案。
5.如权利要求1所述的方法,其中,所述第一图案包括选通图案,所述第一交叠图案包括选通交叠图案,并且
其中,所述第二图案包括数据图案,所述第二交叠图案包括数据交叠图案。
6.如权利要求1所述的方法,其中,所述第一图案包括选通图案,所述第一交叠图案包括选通交叠图案,并且
其中,所述第二图案包括像素电极图案,所述第二交叠图案包括像素交叠图案。
7.一种用于显示装置的基板,所述基板包括:
第一图案和第二图案,它们形成在所述基板的有源区域内;
第一交叠图案,其形成在所述有源区域的角区域,并由与所述第一图案的材料相同的材料制成;以及
第二交叠图案,其形成在所述有源区域的角区域,并由与所述第二图案的材料相同的材料制成,
其中,所述第一交叠图案包括沿预定方向设置的标度,并且所述第二交叠图案包括沿所述预定方向设置的标度以面对所述第一交叠图案的标度。
8.如权利要求7所述的基板,其中,所述第一交叠图案包括:第一子图案,其具有沿第一方向设置的标度;以及第二子图案,其具有沿与第一方向不同的第二方向设置的标度,
其中,所述第二交叠图案包括:第三子图案,其具有沿所述第一方向设置的标度;以及第四子图案,其具有沿所述第二方向设置的标度,并且
其中,所述第一子图案和所述第三子图案彼此对称地相面对,所述第二子图案和所述第四子图案彼此对称地相面对。
9.如权利要求7所述的基板,其中,所述第一交叠图案还包括所述标度的编号、所述编号的符号和表示所述第一图案的标题中的至少一个,并且
其中,所述第二交叠图案还包括所述标度的编号、所述编号的符号和表示所述第二图案的标题中的至少一个。
10.如权利要求7所述的基板,其中,在所述有源区域内的一个角区域形成多个所述第一交叠图案。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造