[发明专利]用于显示装置的基板及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于显示装置的基板，更具体地，涉及一种用于识别在用于显示装置的基板上形成的精细图案的移位程度（shift level）的方法。

背景技术

作为用于代替作为早期的显示装置的阴极射线管的显示装置，液晶显示装置、等离子显示面板和有机发光显示装置已被开发。

通过在基板上形成诸如薄膜晶体管之类的各种精细图案来制造显示装置，并且各种测试工艺被执行，以确定在显示装置的制造过程期间或者在完成了制造过程之后在显示装置中是否存在缺陷。

作为显示装置的测试工艺之一，提供了一种用于识别基板上形成的精细图案的移位程度的处理。

以下，将参照附图描述根据相关技术的用于识别在用于显示装置的基板上形成的精细图案的移位程度的方法。

图1A和图1B是示出根据相关技术的用于识别精细图案的移位程度的方法的平面图。

在描述详细的工艺之前，将参照图1A和图1B简要描述整个基板的布局。可在基板1上形成多个有源区域10（例如，两个有源区域10）。各个有源区域通过划线工艺被切割，然后构成显示装置的面板。

构成显示装置的面板的多个有源区域10中的每一个均设置有各种图案11和12，并且在所述多个有源区域10的外面形成交叠图案21和22，以识别图案11和12的移位程度。

以下，将更详细地描述每一工艺。

首先，如图1A所示，第一图案11形成在基板1的有源区域10上，同时，第一交叠图案21形成在有源区域10之外。

第一图案11的示例可包括以程度方向设置的选通线，第一交叠图案21可形成为例如正方形结构。

可通过诸如光刻之类的图案形成工艺形成第一图案11和第一交叠图案21。在这种情况下，可通过使用与第一图案11和第一交叠图案21相应的第一掩膜图案同时形成第一图案11和第一交叠图案21。

接着，如图1B所示，在基板1的有源区域10上形成第二图案12，并同时在有源区域10的外部形成第二交叠图案22。

第二图案12的示例可包括沿垂直方向设置的数据线，第二交叠图案22可形成为例如在第一交叠图案21内设置的正方形结构。

可通过诸如光刻之类的图案形成工艺形成第二图案12和第二交叠图案22。在这种情况下，可通过使用与第二图案12和第二交叠图案22相应的第二掩膜图案同时形成第二图案12和第二交叠图案22。

根据前面提到的相关技术方法，通过利用形成在有源区域10的外部的第一交叠图案21和第二交叠图案22来识别第一图案11和第二图案12的移位程度。

换句话讲，由于同时通过使用第一掩膜图案形成第一图案11和第一交叠图案21，所以如果发生了诸如第一掩膜图案的未对准之类的工艺误差，则第一图案11和第一交叠图案21可以以相同程度移位。

另外，由于同时通过使用第二掩膜图案形成第二图案12和第二交叠图案22，所以如果发生了诸如第二掩膜图案的未对准的工艺误差，则第二图案12和第二交叠图案22可以以相同程度移位。

由于第一图案11和第二图案12精细地形成在有源区域10内，所以不容易识别第一图案11和第二图案12的移位程度。因此，通过第一交叠图案21的移位程度来识别第一图案11的移位程度，并通过第二交叠图案22的移位程度来识别第二图案12的移位程度。

然而，上面提到的相关技术方法具有如下问题。

根据相关技术方法，如果发生了工艺误差，则认为第一图案11的移位程度与第一交叠图案21的移位程度相同，以及第二图案12的移位程度与第二交叠图案22的移位程度相同。然而，第一图案11的移位程度实际上与第一交叠图案21的移位程度不相同，第二图案12的移位程度实际上与第二交叠图案22的移位程度不相同。

换句话讲，即使因为第一交叠图案21和第二交叠图案22之间没有发生移位而确定第一图案11和第二图案12被正确地形成，但可能通过后面的精确的测试工艺确定第一图案11和第二图案12没有被正确地形成。

为此，如果使用第一交叠图案21和第二交叠图案22的移位程度来确定第一图案11和第二图案12的移位程度，则在确定所述移位程度中可能出现误差。

另外，根据相关技术方法，第一交叠图案21和第二交叠图案22形成在构成显示面板的面板的有源区域10的外部。因此，由于在划线工艺之后在面板上不存在第一交叠图案21和第二交叠图案22，所以出现了在面板的状态下不能使用第一交叠图案21和第二交叠图案22的问题。

发明内容