[发明专利]多路分配装置

权利要求书

1.一种多路分配装置，具备：

扫描构件，能够相对于涂敷涂敷液的涂敷对象物在水平面内沿着Y轴方向相对移动，通过Y轴扫描移动装置而沿着所述Y轴方向相对移动；

多个分配装置，架设于所述扫描构件，分别具有滴下所述涂敷液的分配嘴；

分配嘴移动装置，使各所述分配嘴的滴下所述涂敷液的下端部在水平面内移动；及

控制装置，对所述Y轴扫描移动装置和所述分配嘴移动装置进行同步控制。

2.根据权利要求1所述的多路分配装置，其中，

所述分配嘴移动装置使各所述分配嘴的下端部至少沿着在水平面内与所述Y轴正交的X轴方向相互独立地移动，

各所述分配嘴的下端部的所述X轴方向的移动范围互补地重叠而遍及所述涂敷对象物的所述X轴方向的整个范围。

3.根据权利要求1或2所述的多路分配装置，其中，

所述分配嘴移动装置使所述分配装置以能够沿着所述Y轴方向及在水平面内与所述Y轴正交的X轴方向移动的方式架设在所述扫描构件上，并且通过驱动装置使所述分配装置沿着所述X轴方向及所述Y轴方向移动。

4.根据权利要求1或2所述的多路分配装置，其中，

所述分配嘴为了使所述下端部在水平面内移动而由基端部支承为能够摆动，且沿着与水平面正交的Z轴方向延伸，所述分配嘴移动装置具有XZ倾动装置，该XZ倾动装置使所述分配嘴至少在包含所述X轴及所述Z轴的平面内倾动。

5.根据权利要求4所述的多路分配装置，其中，

具备间隔维持装置，该间隔维持装置使所述分配嘴沿着抵消由于所述分配嘴的倾动而产生的所述分配嘴的下端部在所述Z轴方向上的位移的方向升降。

6.根据权利要求1~5中任一项所述的多路分配装置，其中，

所述涂敷液与所述涂敷对象物的组合是在溶剂中混入有金属微粒的金属纳米墨水与基板的组合、或熔融的绝缘性树脂与引线框架的组合。