[发明专利]多路分配装置

说明书

技术领域

本发明涉及具备多个分配装置而向涂敷对象物的多个部位同时涂敷涂敷液的多路分配装置。

背景技术

具有预定的配线图案的配线基板是在制造各种电子控制装置、电子通信装置或计算机等时成为基础的重要的构件。作为该配线基板的制造方法，一直以来使用通过电镀法或真空蒸镀法、溅射法等而在基板上形成金属薄膜的方法。然而，由于这些现有的方法均具有难点，因此使用喷墨装置或分配装置来描画配线图案的方法不断扩展。喷墨装置具有以下一般特性：描画速度快而能够得到较大的产能，但无法使用粘度太大的墨水而在1次的描画中难以得到充分的涂敷厚度。

另一方面，虽然分配装置即使使用粘度大的涂敷液也能够涂敷而容易得到充分的涂敷厚度，但产能通常比喷墨装置小。在分配装置中，通常使具有嘴的分配头在XY平面上移动，间歇地滴下涂敷液而描画点，或连续地涂敷涂敷液而描画线。在这里，在向XY平面上的多个部位涂敷涂敷液时，对每一个部位依次进行涂敷动作，因此无法期待高的产能。分配装置使用在溶剂中混入有金属微粒的金属纳米墨水作为涂敷液，多用于在作为涂敷对象物的基板上描画低电阻的配线图案的用中途，并未限定于此。

近年来，以产能的进一步提高为目的，提出了具备多个喷墨头的喷墨装置。例如，在专利文献1中公开了一种具备多个喷墨头的复合型喷墨头，其中各喷墨头均具备多个嘴。该装置构成为，具备将多个喷墨头沿着X、Y、θ方向驱动的XYθ驱动机构，能够使各个嘴在同一平面上移动。由此，能够将具备多个嘴的多个喷墨头分别沿着水平方向驱动而进行对位，从而能够进行高精度的涂敷。

另外，在专利文献2中公开了一种用于具有能够进行独立的横向运动的喷墨头的喷墨头支承体的装置。该装置中，在喷墨头支承体上，第一喷墨头能够相对于第二喷墨头沿着横向独立地移动，系统控制器控制第一及第二喷墨头的横向运动。由此，相对于单一或多个显示体（涂敷对象物）提供独立的喷墨头的阵列。

专利文献

专利文献1：日本特开2006-167559号公报

专利文献2：日本特开2006-136879号公报

然而，为了实现分配装置的高产能化，若要应用专利文献1及2所例示的具备多个头或多个嘴的喷墨装置的结构，会产生如下问题。第一，头或嘴的移动装置的结构变得复杂化，同时控制方法也变得繁杂化。例如，专利文献1的XYθ驱动机构由于需要对于多个喷墨头分别设置沿着X方向、Y方向、及θ方向独立地动作的3个驱动源，因此结构变得复杂化，成本增加显著。

第二，向涂敷对象物的多个部位同时涂敷涂敷液而进行描画时，难以进行高分辨率的描画及自由度大的描画。即，在专利文献2的技术例中，预先决定了第一及第二喷墨头的位置后，使喷墨头支承体相对于显示体（涂敷对象物）移动（扫描），因此难以进行移动中途的描画位置的微调整，而且线描画的方向受到限定。

发明内容

本发明鉴于上述背景技术的问题而作出，应解决课题在于提供一种多路分配装置，其能够向涂敷对象物的多个部位同时涂敷涂敷液而实现高产能化，同时实现分辨率高且自由度大的涂敷，装置结构简单且成本低廉。

解决上述课题的技术方案1的多路分配装置的发明具备：扫描构件，能够相对于涂敷涂敷液的涂敷对象物在水平面内沿着Y轴方向相对移动，通过Y轴扫描移动装置而沿着所述Y轴方向相对移动；多个分配装置，架设于所述扫描构件，分别具有滴下所述涂敷液的分配嘴；分配嘴移动装置，使各所述分配嘴的滴下所述涂敷液的下端部在水平面内移动；及控制装置，对所述Y轴扫描移动装置和所述分配嘴移动装置进行同步控制。

技术方案2的发明根据技术方案1所述的多路分配装置，其中，所述分配嘴移动装置使各所述分配嘴的下端部至少沿着在水平面内与所述Y轴正交的X轴方向相互独立地移动，各所述分配嘴的下端部的所述X轴方向的移动范围互补地重叠而遍及所述涂敷对象物的所述X轴方向的整个范围。

技术方案3的发明根据技术方案1或2所述的多路分配装置，其中，所述分配嘴移动装置使所述分配装置以能够沿着所述Y轴方向及在水平面内与所述Y轴正交的X轴方向移动的方式架设在所述扫描构件上，并且通过驱动装置使所述分配装置沿着所述X轴方向及所述Y轴方向移动。

技术方案4的发明根据技术方案1或2所述的多路分配装置，其中，所述分配嘴为了使所述下端部在水平面内移动而由基端部支承为能够摆动，且沿着与水平面正交的Z轴方向延伸，所述分配嘴移动装置具有XZ倾动装置，该XZ倾动装置使所述分配嘴至少在包含所述X轴及所述Z轴的平面内倾动。