[发明专利]机器人和机器人安装方法

说明书

技术领域

本文公开的实施方式涉及一种机器人和机器人安装方法。

背景技术

作为工业机器人，传统上已知有用于搬运诸如基板之类的工件的搬运机器人。作为搬运机器人，已知有例如构造成沿水平方向伸展和缩回的水平多关节机器人。水平多关节机器人包括在其末端处设置有用于保持工件的手的臂单元。

搬运机器人被使用在例如半导体制设备或者液晶面板制造设备中，以搬运诸如半导体晶片或玻璃基板的工件。在这些设备中，通常的情况是工件在减压真空室内进行处理。为此，搬运机器人通常布置在真空室内。搬运机器人被称为真空机器人（例如参见日本特开2011-101912号公报）。

在搬运机器人（真空机器人）安装在真空室内的情况下，通常的是，搬运机器人通过使用顶棚吊车被升起并且移动到真空室上方。然后，搬运机器人被降下并且放入真空室中。

近年来，诸如玻璃基板和半导体晶片的工件的尺寸变得更大，因而搬运机器人和真空室的尺寸也趋于变得更大。这可能使得难以将搬运机器人安装在真空室内。

例如，搬运机器人随着其变得更大而高度趋于增大。为了将大型搬运机器人定位在真空室上方，因此期望的是扩大用于运入搬运机器人的空间，即，位于真空室的上表面和供安装真空室的房间的顶棚表面之间的空间。然而，如果搬运机器人的高度增加，则用于容纳搬运机器人的真空室的高度变得更大，但顶棚表面的高度保持不变。这使得难以扩大用于运入搬运机器人的空间。

如上所述，如果搬运机器人的尺寸变得更大，则可能变得难以将机器人安装在真空室内。

发明内容

本文所公开的实施方式提供了一种能够被容易地安装在室中的机器人以及能够将机器人容易地安装在室内的机器人安装方法。

根据本发明的一个方面，提供了一种机器人，该机器人包括：基座单元，该基座单元从限定作业空间的室的底面部的下方被升起并且连接到所述室的所述底面部；以及臂单元，该臂单元被从所述室的上方运入所述室中，并且连接到与所述室的所述底面部连接的所述基座单元的上部。

通过本文所公开的实施方式，可以提供一种能够被容易地安装在室内的机器人和能够将机器人容易地安装在室内的机器人安装方法。

附图说明

图1是示出根据一个实施方式的机器人的示意性说明图。

图2是示出安装在真空室内的机器人的示意性说明剖面图。

图3是示出主体单元和臂基座的示意性说明剖面图。

图4是将机器人的高度与供将机器人运入真空室中的空间的高度对比的图。

图5A是图示将主体单元安装在真空室中的方法的说明图。

图5B是图示将主体单元安装在真空室中的另一种方法的说明图。

图5C是图示将臂单元安装在真空室中的方法的说明图。

图6是图示将臂单元相对于主体单元粗略定位的方法的说明图。

具体实施方式

现在将参照形成本发明的一部分的附图来详细地描述本文公开的机器人和机器人安装方法的实施方式。本公开内容不限于以下将描述的实施方式。

首先，将参照图1描述根据本实施方式的机器人的构造。图1是示出根据该实施方式的机器人的示意性说明图。

如图1所示，机器人1是水平多关节机器人，该机器人包括：臂单元20，该臂单元具有两个能够沿水平方向伸展和缩回的可伸展臂；以及主体单元10，该主体单元用于支承臂单元20。在本实施方式中，主体单元10构成基座单元。

主体单元10包括安装在管状壳体11内的下述升降装置40（参见图3）。主体单元10通过使用升降装置40而沿着竖直方向上下移动臂单元20。以下将参照图3更详细地描述升降装置40。

在壳体11的上部中形成凸缘部12。凸缘部12借助螺栓等连接到形成于真空室30中（参见图2）的作为单元连接开口的开口部31的周缘，所述真空室30中限定有作业空间。结果，机器人1被安装在真空室30中。稍后将参照图2更详细地描述以上构造。稍后将参照图5A至图5C更详细地描述将主体单元10安装到真空室30的方法。

臂单元20是借助稍后待述的升降凸缘单元15连接到主体单元10的单元。臂单元20包括臂基座21、第一臂22、第二臂23、手基座24以及辅助臂部25。

臂基座21以可旋转的方式支承在升降凸缘单元15上。臂基座21设置有摆动装置60（参见图3），该摆动装置包括马达61a、减速器61b和摆动轴62。臂基座21通过使用摆动装置60而进行转动。稍后将参照图3更详细地描述摆动装置60的构造。