[发明专利]一种多尺寸晶圆对中装置

权利要求书

1.一种多尺寸晶圆对中装置，其特征在于：包括工作台（11)、动力装置、夹持机构、承片台（8）及支撑柱（9），其中动力装置安装在工作台（11）上，所述承片台（8）安装在工作台（11）上，在承片台（8）的周围分布有多个支撑柱（9），承片台（8）的顶端与各支撑柱（9）的顶端存在高度差、承载不同尺寸的晶圆；所述夹持机构与动力装置的输出端相连，通过动力装置的驱动由承片台（8）及支撑柱（9）的两侧向内夹持晶圆，完成晶圆的对中。

2.按权利要求1所述的多尺寸晶圆对中装置，其特征在于：所述夹持机构包括上对中卡具（3）及下对中卡具（4），在承片台（8）及支撑柱（9）的两侧分别设有下对中卡具（4），两侧的下对中卡具（4）分别通过连接板（5）与动力装置的输出端相连，每个下对中卡具（4）上表面的外边缘分别安装有上对中卡具（3），所述上对中卡具（3）在动力装置的驱动下随下对中卡具（4）移动；所述上、下对中卡具（3、4）分别夹持不同尺寸的晶圆。

3.按权利要求2所述的多尺寸晶圆对中装置，其特征在于：位于承片台（8）及支撑柱（9）两侧的上对中卡具（3）之间的距离大于位于承片台（8）及支撑柱（9）两侧的下对中卡具（4）之间的距离，所述支撑柱（9）的顶端高于承片台（8）的顶端，承载于支撑柱（9）上的晶圆尺寸大于承载于承片台（8）上的晶圆尺寸，并且承载于支撑柱（9）上的晶圆通过所述上对中卡具（3）夹持对中，承载于承片台（8）上的晶圆通过所述下对中卡具（4）夹持对中。

4.按权利要求2或3所述的多尺寸晶圆对中装置，其特征在于：所述上对中卡具（3）及下对中卡具（4）靠近晶圆的一侧均为弧形，且弧的弧度与所夹持的晶圆外圆周表面相对应。

5.按权利要求2或3所述的多尺寸晶圆对中装置，其特征在于：所述上对中卡具（3）上设有条形孔（12），该条形孔（12）内插设有连接上对中卡具（3）与下对中卡具（4）的螺钉（13），位于承片台（8）及支撑柱（9）两侧的上对中卡具（3）之间的距离通过所述螺钉（13）在条形孔（12）内的位置进行调节。

6.按权利要求1所述的多尺寸晶圆对中装置，其特征在于：所述工作台（11）上安装有确认晶圆位置放置正确的检片传感器（10），该检片传感器（10）位于晶圆的下方。

7.按权利要求1所述的多尺寸晶圆对中装置，其特征在于：所述工作台（11）的底面安装有进行水平调整的调平顶丝（7）。

8.按权利要求1所述的多尺寸晶圆对中装置，其特征在于：所述动力装置为气爪（6）或电动缸。