[发明专利]去光阻液回收系统无效
| 申请号： | 201210393186.2 | 申请日： | 2012-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN103728846A | 公开（公告）日： | 2014-04-16 |
| 发明（设计）人： | 孟文雄;许誉腾 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京维澳专利代理有限公司 11252 | 代理人： | 马佑平;王立民 |
| 地址： | 中国台湾新竹科*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 去光阻液 回收 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种去光阻液回收系统，包括：
薄膜蒸发器，具有出液口与进液口；
过滤装置，具有流入口、流出口与排渣口；
回收槽，具有回收口；
排放管路，一端接设于所述出液口，另一端接设于所述流入口；
流入管路，一端接设于所述流出口，另一端接设于所述进液口；
排渣管路，一端连通于所述排放管路，另一端连通于所述流入管路；以及
回收管路，一端接设于所述排渣口，另一端接设于所述回收口。
2.如权利要求1所述的去光阻液回收系统，其特征在于，还包括加压装置，设置于所述排放管路上。
3.如权利要求1所述的去光阻液回收系统，其特征在于，还包括第一控制阀，设置于所述流入管路上。
4.如权利要求1所述的去光阻液回收系统，其特征在于，还包括第二控制阀，设置于所述回收管路上。
5.如权利要求1所述的去光阻液回收系统，其特征在于，还包括第三控制阀，设置于所述排渣管路上。
6.一种过滤装置，适用于去光阻液回收系统，包括：
本体，其上具有流入口、流出口与排渣口；
隔板，径向设置于所述本体内，使所述本体内形成有上下层迭的第一空间与第二空间；
过滤组件，设置于所述隔板下方，并位于所述第二空间中；
其中，所述流出口与所述第一空间连通，而所述流入口与排放口则与所述第二空间连通。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于友达光电股份有限公司，未经友达光电股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201210393186.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
