[发明专利]去光阻液回收系统

说明书

技术领域

本发明有关于一种去光阻液回收系统，特别是一种能自动排出废渣的去光阻液回收系统。

背景技术

在半导体或液晶面板等的制造制程中，会利用在基板上涂布光阻液而曝光显影的微影技术。而在曝光显影后欲进行下个制程前，又必需要将光阻去除，此时就必需再使用去光阻液来达到目的。相对的，伴随着近年来液晶面板等的大型化，所使用的基板亦在朝大型化方向发展，因此去光阻液的使用量亦在增大。

在使用去光阻液除去基板光阻后，必需要将已用过的去光阻液进行回收。如图1所示，为目前所使用的去光阻回收系统10，其包括有薄膜蒸发器11、过滤器12、加压器13以及回收槽14，其中过滤器12设置于薄膜蒸发器11与加压器13之间，也就是说，过滤器12位于加压器13的入口端处，由于去光阻回收系统10采用负压设计，在目前过滤器12位于加压器13入口端处的配置下，容易发生孔蚀及空抽的现象。

此外，由于过滤器12必需定期清理，在进行清理时必需要停机，且必需由人工进行清理，十分耗时耗力。而且在去光阻回收系统10停/开机时，需要进行降/升温暖机，过程需要约2至4小时，不仅耗时而且又耗能。

因此，就经济方面、环境方面考虑，业界均期望对于去光阻液的回收系统能够有一套更有效率的方式来进行回收。

发明内容

有鉴于现有技术问题，本发明提出一种去光阻液回收系统，本实施例的光阻液回收系统至少包括有薄膜蒸发器、过滤装置、回收槽、排放管路、流入管路、排渣管路以及回收管路，其中排放管路的一端接设于薄膜蒸发器的出液口，另一端则接设于过滤装置的流入口；流入管路的一端接设于过滤装置的流出口，另一端则接设于薄膜蒸发器的进液口；排渣管路一端连通于排放管路，另一端则连通于流入管路；回收管路一端接设于过滤装置的排渣口，另一端则接设于回收槽的回收口。如此，前述各个装置在藉由各个管路相互连结后，便组成了一个去光阻液的回收系统。

除此之外，在此去光阻液回收系统中还可以包括有加压装置，其设置于排放管路上，提供适当的压力，使回收系统中的去光阻液能够于各管路及各装置间流动。

本实施例中的去光阻液回收系统中还包括第一控制阀、第二控制阀、第三控制阀，其中第一控制阀设置于流入管路上，借以控制流入管路的启闭，第二控制阀设置于回收管路上，藉以控制回收管路的启闭，第三控制阀设置于排渣管路上，同样可借以控制排渣管路的启闭。

另外，本发明中的过滤装置是针对去光阻液回收系统所设计，其除了包括在过滤装置的本体上的流入口、流出口与排渣口等构件外，在过滤装置的实施例中还包括隔板以及过滤组件，其中隔板径向设置于本体内，使本体内形成有上下层迭的第一空间与第二空间，而过滤组件则设置于隔板下方，并位于第二空间中，借由此种设计方式，可使得流出口与第一空间连通，而流入口与排放口则与第二空间连通。

最后，在利用本发明的去光阻液回收系统进行废渣排放作业时，其中第一控制阀为紧闭的状态，以确认流入管路为断路形态，第二控制阀为开启的状态，使回收管路为通路形态，最后第三控制阀则为开启的状态，使排渣管路为通路形态，此时由薄膜蒸发器流出的去光阻液，自出液口流出后，经由排放管路及排放管路上的加压装置进行加压后，去光阻液自过滤装置的流出口进入于过滤装置的第一空间内，在去光阻液由第一空间通过滤组件进入第二空间后，会将位于第二空间内的废渣同时带走，并经由排渣口而流入回收管路中，再从回收管路自回收口流入于回收槽中进行回收，此即为废渣排放作业流程。

通过上述设计，去光阻液回收系统在进行废渣排放作业时无需停机，利用系统的自动排液设计，经由切换管路，便可达到排液时顺带将废渣一并排除的目的。

为让本发明的目的、特征和优点能使本领域普通技术人员更易理解，下文举一优选实施例，并结合附图作详细说明如下。

附图说明

图1为目前所使用的去光阻回收系统示意图。

图2为本发明去光阻液回收系统的实施例示意图。

图3为本发明过滤装置的实施例示意图。

图4为本发明去光阻液回收系统的废液回收示意图。

图5为本发明去光阻液回收系统的废渣回收示意图。

符号说明

去光阻回收系统10

薄膜蒸发器11

过滤器12

加压器13

回收槽14

去光阻液回收系统20

加压装置21

第一控制阀22

第二控制阀23

第三控制阀24