[发明专利]光阻瓶安全防护器在审
申请号: | 201210399282.8 | 申请日: | 2012-10-18 |
公开(公告)号: | CN102902159A | 公开(公告)日: | 2013-01-30 |
发明(设计)人: | 程蒙;韩新田;李纯阳;傅钰 | 申请(专利权)人: | 上海宏力半导体制造有限公司 |
主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 骆苏华 |
地址: | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光阻瓶 安全 防护 | ||
1.一种光阻瓶安全防护器,其特征在于,包括:
配置于光阻瓶外部的遮挡部,所述遮挡部适于遮挡从光阻瓶内溅射出的光阻。
2.如权利要求1所述光阻瓶安全防护器,其特征在于,所述遮挡部形状为伞状、弧面状、平面状或帽状。
3.如权利要求1所述光阻瓶安全防护器,其特征在于,8×π×l2>遮挡部面积>4×π×r2,其中l为光阻输出管道的长度,为光阻瓶的半径。
4.如权利要求2所述光阻瓶安全防护器,其特征在于,当所述遮挡部为伞状时,伞状遮挡部与水平面的夹角θ的范围为5°<θ<35°。
5.如权利要求1所述光阻瓶安全防护器,其特征在于,所述遮挡部的材料为塑料、玻璃或耐腐蚀金属。
6.如权利要求1所述光阻瓶安全防护器,其特征在于,还包括:与遮挡部连接的承接部,所述承接部用于承接光阻瓶内飞溅出的光阻以及承接遮挡部遮挡流入的光阻。
7.如权利要求6所述光阻瓶安全防护器,其特征在于,所述承接部材料为塑料、玻璃或耐腐蚀金属。
8.如权利要求6所述光阻瓶安全防护器,其特征在于,所述承接部包括与所述遮挡部连接的导流壁,所述导流壁与所述遮挡部外延连接。
9.如权利要求8所述光阻瓶安全防护器,其特征在于,所述导流壁内部具有至少1条的导流槽,所述导流槽适于将所述遮挡部遮挡的光阻导流至承接部地容器中。
10.如权利要求8所述光阻瓶安全防护器,其特征在于,所述承接部包括与导流壁连接的容纳部,所述容纳部适于容纳飞溅的光阻。
11.如权利要求8所述光阻瓶安全防护器,其特征在于,所述承接部内还放置有若干子容纳部,所述若干子容纳部独立于所述承接部,且所述子容纳部放置于所述容纳部内的位置与所述导流壁的导流槽对应,从而能够承接沿导流槽流出的光阻。
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