[发明专利]光阻瓶安全防护器

说明书

技术领域

本发明涉及半导体制造领域，特别涉及一种光阻瓶安全防护器。

背景技术

光阻（又名光刻胶）是集成电路行业不可或缺的原料，光阻是由感光树脂、增感剂和溶剂三种主要成分组成的对光敏感的混合液体。光阻通常用于光刻工艺，具体地，光阻经光照后，在曝光区能很快地发生光固化反应，使得光阻的物理性能，特别是溶解性、亲合性等发生明显变化。经适当的溶剂处理，溶去可溶性部分，得到所需图像。

光阻主要是以液态形式存放于光阻瓶内。请参考图1，图1为放置有光阻的光阻瓶示意图，其中光阻瓶包括：瓶体10；密封所述瓶体10的密封盖11；盛放光阻的瓶胆12；贯穿密封盖11并与瓶体10贯通的进气管道13，所述进气管道13用于向瓶体10内通入气体，给予瓶胆12施加压力，使得瓶胆12向光阻设备输出光阻；贯穿密封盖11并与瓶胆12连通通的光阻输出管道14，所述光阻输出管道14在外部压力下将瓶胆12内的光阻向光阻设备输出，且所述光阻输出管道14深入瓶体10底部。

在光刻工艺中，通常通过进气管道13向瓶体10内通入气体输入氮气或者氩气，在气体产生的压力下，光阻通过光阻输出管道14输出，直至光阻瓶内光阻用完。

光阻瓶内的光阻用完之后，通常需要更换光阻瓶或补充光阻，此时操作人员需要将密封盖11拔出，在拔出密封盖11的时候，光阻瓶内残留的光阻会溅射出来，溅至操作人员皮肤表面，使得操作人员受伤。

发明内容

本发明解决的问题是提供一种光阻瓶安全防护器，避免在更换光阻瓶或补充光阻时，伤害操作人员。

为解决上述问题，本发明提供一种光阻瓶安全防护器，包括：配置于光阻瓶外部的遮挡部，所述遮挡部适于遮挡从光阻瓶内溅射出的光阻。

可选的，所述遮挡部形状为伞状、弧面状、平面状或帽状。

可选的，8×π×l²>遮挡部面积>4×π×r²，其中l为光阻输出管道的长度，为光阻瓶的半径。

可选的，当所述遮挡部为伞状时，伞状遮挡部与水平面的夹角θ的范围为5°<θ<35°。

可选的，所述遮挡部的材料为塑料、玻璃或耐腐蚀金属。

可选的，还包括：与遮挡部连接的承接部，所述承接部用于承接光阻瓶内飞溅出的光阻以及承接遮挡部遮挡流入的光阻。

可选的，所述承接部材料为塑料、玻璃或耐腐蚀金属。

可选的，所述承接部包括与所述遮挡部连接的导流壁，所述导流壁与所述遮挡部外延连接。

可选的，所述导流壁内部具有至少1条的导流槽，所述导流槽适于将所述遮挡部遮挡的光阻导流至承接部地容器中。

可选的，所述承接部包括与导流壁连接的容纳部，所述容纳部适于容纳飞溅的光阻。

可选的，所述承接部内还放置有若干子容纳部，所述若干子容纳部独立于所述承接部，且所述子容纳部放置于所述容纳部内的位置与所述导流壁的导流槽对应，从而能够承接沿导流槽流出的光阻。

与现有技术相比，本发明具有以下优点：

本发明在光阻瓶外部额外设置遮挡部，从而能够避免光阻瓶飞溅的光阻伤害工作人员。

进一步地，本发明采用承接部与遮挡部配合，不但能够避免飞溅的光阻伤害工作人员，还能够避免光阻污染超净间的地面，保证安全生产。

进一步地，本发明在所述承接部230内还设置有若干子容纳部，所述若干子容纳部独立于所述承接部，所述子容纳部放置于所述容纳部内的位置与所述导流壁的导流槽对应，从而能够承接沿导流槽流出的光阻；且在后续更换时，从而只需要更换子容纳部，而不需要将整个防护器废弃，节约了成本。

附图说明

图1为放置有光阻的光阻瓶示意图；

图2为本发明光阻瓶安全防护器的一实施例剖面示意图；

图3为本发明光阻瓶安全防护器的一实施例俯视图；

图4为本发明光阻瓶安全防护器的另一实施例剖面示意图；

图5为本发明光阻瓶安全防护器的又一实施例示意图；

图6为本发明光阻瓶安全防护器的又一实施例示意图。

具体实施方式

由背景技术可知，光阻瓶内的光阻用完之后，通常需要更换光阻瓶或补充光阻，此时操作人员需要将密封盖11拔出，在拔出密封盖11的时候，由于光阻瓶内存在内部残压，且在拔出密封盖的同时，需将深入瓶体10底部的所述光阻输出管道14同时拔出，若操作人员用力不当，光阻瓶内残留的光阻或者粘附于所述光阻输出管道14表面的光阻极易溅射出来，溅至操作人员皮肤表面，使得操作人员受伤。