[发明专利]探针卡平整度检测方法有效
| 申请号： | 201210402378.5 | 申请日： | 2012-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN102878974A | 公开（公告）日： | 2013-01-16 |
| 发明（设计）人： | 岳小兵;刘远华;祈建华;汤雪飞;施瑾;叶守银 | 申请（专利权）人： | 上海华岭集成电路技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/30 | 分类号： | G01B21/30 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 周耀君 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 探针 平整 检测 方法 | ||
1.一种探针卡平整度检测方法，其特征在于，包括：
移动探针台，使得探针台靠近所述探针卡中的探针；
根据测试机获取的信号，判断探针台是否与探针接触；
根据探针台与探针接触的先后顺序，获取探针卡的平整度。
2.如权利要求1所述的探针卡平整度检测方法，其特征在于，在移动探针台之前，所述探针台与所述探针卡中的探针面的距离为300μm～800μm。
3.如权利要求1所述的探针卡平整度检测方法，其特征在于，在与第一批探针接触之前，所述探针台按第一步长靠近探针，所述第一步长为10μm～30μm。
4.如权利要求3所述的探针卡平整度检测方法，其特征在于，在与第一批探针接触之后，所述探针台按第二步长靠近探针，所述第二步长为1μm～5μm。
5.如权利要求3所述的探针卡平整度检测方法，其特征在于，在与第一批探针接触之后，所述探针台先回走一个第一步长，然后继续靠近探针，其中，所述继续靠近探针时的步长小于第一步长。
6.如权利要求1至5中的任一项所述的探针卡平整度检测方法，其特征在于，所述探针台每间隔10ms～100ms移动一次。
7.如权利要求1至5中的任一项所述的探针卡平整度检测方法，其特征在于，当所述探针台与所有探针均接触之后，所述探针台停止靠近探针。
8.如权利要求1至5中的任一项所述的探针卡平整度检测方法，其特征在于，所述探针台上承载有IC芯片。
9.如权利要求1至5中的任一项所述的探针卡平整度检测方法，其特征在于，根据探针台与探针接触的先后顺序，获取每根探针的长度，以得到探针卡的平整度。
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