[发明专利]一种新型PECVD设备专用C/C载板挂钩无效

申请号：	201210403087.8	申请日：	2012-10-22
公开（公告）号：	CN102899639A	公开（公告）日：	2013-01-30
发明（设计）人：	不公告发明人	申请（专利权）人：	江苏荣马新能源有限公司
主分类号：	C23C16/458	分类号：	C23C16/458
代理公司：	南京经纬专利商标代理有限公司 32200	代理人：	张惠忠
地址：	223700 江苏省宿***	国省代码：	江苏;32
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摘要：
搜索关键词：	一种新型 pecvd 设备专用挂钩
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【权利要求书】：

1.一种新型PECVD设备专用C/C载板挂钩，用于硅片的定位，其特征在于：包括由下部开口的方形框架制成的第一、第二挂钩支架；所述方形框架的两支臂的下端内侧均设置有一个可转动的顶片，且两个顶片相对设置；所述第一挂钩支架的方形框架的两支臂的低端分别向外设置有用于硅片的定位的第一挂钩、第二挂钩，所述第二挂钩支架的方形框架的一支臂的低端向外设置有用于硅片的定位的第三挂钩；且第一挂钩、第二挂钩、第三挂钩与硅片接触的一面为斜坡面，同时所述斜坡面的倾斜方向均与方形框架的顶端相背离。

2.根据权利要求1所述新型PECVD设备专用C/C载板挂钩，其特征在于：所述斜坡面的表面呈阶梯状。

3.根据权利要求2所述新型PECVD设备专用C/C载板挂钩，其特征在于：所述斜坡面与载板之间的倾斜角度为33°-35°。

4.根据权利要求2所述新型PECVD设备专用C/C载板挂钩，其特征在于：所述固定杆均为上细下宽。

5.根据权利要求3所述新型PECVD设备专用C/C载板挂钩，其特征在于：所述挂钩支架的底面为曲面。

6.根据权利要求4所述新型PECVD设备专用C/C载板挂钩，其特征在于：所述挂钩支架的下部所有交接面均为圆弧过渡。

7.根据权利要求5所述新型PECVD设备专用C/C载板挂钩，其特征在于：所述第一挂钩、第二挂钩均为S316不锈钢制作的挂钩。

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