[发明专利]一种硅料掺杂剂的加工工艺

权利要求书

1.一种硅料掺杂剂的加工工艺，其特征在于，所述加工工艺包括以下步骤：

11）将原硅料和掺杂单质进行配料；

12）将配好的原料装入铸锭炉内，将铸锭炉调至真空模式，并将配好的原料逐步加热到设定温度；

13）将铸锭炉内的压力控制在0.4至0.8个大气压，并向其内充入氩气，然后将原料由设定温度逐步加热到熔化温度，待原料完全熔化后，逐步降低铸锭炉内温度，使液态的原料重新结晶，以形成硅料掺杂剂。

2.如权利要求1所述的加工工艺，其特征在于，在步骤11）中，按照每400kg原硅料掺入30～70g掺杂单质的配比进行配料。

3.如权利要求1所述的加工工艺，其特征在于，所述步骤12）中，按照下述方式逐步加热原料：

将铸锭炉内加热器的功率依次设定在10～30kw、40～60kw、70～90kw和100～120kw，并在每个阶段分别保持0～30min、30～60min、30～120min和60～240min，以便将原料加热到设定温度。

4.如权利要求3所述的加工工艺，其特征在于，所述步骤12）中，所述设定温度为900～1200℃。

5.如权利要求1所述的加工工艺，其特征在于，所述步骤13）中，以20～60升/分钟的速度向铸锭炉充入氩气；

将原料保持在设定温度加热30～120min，然后在60～240min内逐步提升原料至熔化温度，熔化温度处于1500℃～1560℃之间，并在该温度范围内维持180～600min，以待原料完全熔化。

6.如权利要求5所述的加工工艺，其特征在于，在所述步骤13）中，降低铸锭炉内温度时，首先将铸锭炉内的温度降至1410～1450℃之间，并在该温度范围内维持30～90min，然后逐步降温，将结晶的速度控制在5～30mm/h，直至完成结晶。

7.如权利要求1至6任一项所述的加工工艺，其特征在于，所述步骤13）之后还包括：

14）将铸锭炉的温度降至1250～1350℃之间，并在该温度范围内维持60min～120min。

8.如权利要求7所述的加工工艺，其特征在于，所述步骤14）中，降低铸锭炉的温度时，首先关闭铸锭炉的散热，然后采用小火继续加热。

9.如权利要求7所述的加工工艺，其特征在于，所述步骤14）之后还包括：

15）对重新结晶形成的硅料掺杂剂进行降温，待温度降至450℃时出炉。