[发明专利]感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀图案的形成方法及印刷配线板的制造方法

权利要求书

1.一种感光性树脂组合物，其含有：

分散度为1.6以下的粘合剂聚合物；

含有具有氨酯键的（甲基）丙烯酸酯化合物的光聚合性化合物；以及

光聚合引发剂。

2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，所述具有氨酯键的（甲基）丙烯酸酯化合物为下述通式（1）所示的化合物或者下述通式（2）所示的化合物：

式（1）中，Q表示碳数为1～20的亚烷基、碳数为1～10的环亚烷基或亚苯基；R¹及R²各自独立地表示氢原子或甲基；L¹、L²及L³各自独立地表示碳数为2～4的亚烷基；r1及r2各自独立地表示1～40的整数；s1、s2、t1及t2各自独立地表示0～40的整数；其中s1、s2、t1及t2为0时，L¹表示亚乙基；r1、r2、s1、s2、t1或t2为2以上时，多个存在的-L¹-O-、-L²-O-或-L³-O-所示的结构单元可以无规地存在，也可以形成嵌段；

式（2）中，R⁵、R⁶及R⁷各自独立地表示碳数为1～20的亚烷基；R⁸、R⁹及R¹⁰各自独立地表示氢原子或甲基；L¹、L²及L³各自独立地表示碳数为2～4的亚烷基；r3、r4及r5各自独立地表示1～40的整数；s3、s4、s5、t3、t4及t5各自独立地表示0～40的整数；其中s3、s4、s5、t3、t4及t5为0时，L¹表示亚乙基；r3、r4、r5、s3、s4、s5、t3、t4或t5为2以上时，多个存在的-L¹-O-、-L²-O-或-L³-O-所示的结构单元可以无规地存在，也可以形成嵌段。

3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中，所述粘合剂聚合物具有基于从由（甲基）丙烯酸苄酯、（甲基）丙烯酸苄酯衍生物、苯乙烯及苯乙烯衍生物组成的组中选择的至少1种聚合性单体的结构单元。

4.根据权利要求1～3任一项所述的感光性树脂组合物，其中，所述粘合剂聚合物的酸值为90～250mgKOH/g。

5.根据权利要求1～4任一项所述的感光性树脂组合物，其中，所述粘合剂聚合物的重均分子量为10000～100000。

6.根据权利要求1～5任一项所述的感光性树脂组合物，其中，所述光聚合性化合物进一步含有双酚A系二（甲基）丙烯酸酯化合物。

7.根据权利要求1～6任一项所述的感光性树脂组合物，其中，所述光聚合引发剂含有2，4，5-三芳基咪唑二聚物。

8.根据权利要求1～7任一项所述的感光性树脂组合物，其进一步含有在340～430nm具有最大吸收的增感色素。

9.一种感光性元件，其具备支撑膜和在该支撑膜上由权利要求1～8任一项所述的感光性树脂组合物形成的感光层。

10.一种抗蚀图案的形成方法，其具有下述工序：

将由权利要求1～8任一项所述的感光性树脂组合物形成的感光层或权利要求9所述的感光性元件的感光层层叠在基板上的工序；

对所述感光层的规定部分照射活性光线以形成光固化部的曝光工序；和

将所述感光层的除所述规定部分以外的区域从所述基板上除去的显影工序。

11.一种印刷配线板的制造方法，其包含对通过权利要求10所述的方法形成了抗蚀图案的基板进行刻蚀或镀覆的工序。