[发明专利]一种阵列基板检测方法、检测装置及检测系统

说明书

技术领域

本发明涉及阵列基板检测技术领域，特别涉及一种阵列基板检测方法、检测装置及检测系统。

背景技术

阵列基板是液晶面板的关键部件，在阵列基板上设置有多种金属配线，如在阵列基板上互相平行的栅极线和公共电极线，或互相垂直的栅极线和数据线等；这些金属配线之间的距离一般都比较小，常因微小粉尘或金属残留，导致两条金属配线之间短路，特别是在互相平行的金属配线之间，发生短路的机率最大，严重影响阵列基板的品质。因此，为了提高阵列基板的品质，需要对阵列基板中的金属配线进行检测，判断阵列基板中是否有短路的金属配线及短路出现位置，从而便于修复阵列基板上的出现短路的金属配线。

目前，一般采用阵列基板测试（Array Test，以下简称AT）设备来检测阵列基板中是否有短路的金属配线，具体测试方法如下：

如图1所示，利用AT设备依次测量阵列基板上的相邻或相近的两条金属配线之间的电阻值，当两条金属配线之间的电阻值无限大时，则判定这两条金属配线之间没有短路情况发生；当两条金属配线之间的电阻值小于设定阈值时，如设定值为1千欧，则判定这两条金属配线之间发生短路；不过目前使用AT设备的检测方法只能定位到线，即只能确定发生短路的两条金属配线在阵列基板上排列位置，不能确定在金属配线上短路发生的坐标位置，后续维修过程中只能靠人眼观察的方式进行定位，效率较低。

发明内容

本发明的目的在于提供一种阵列基板检测方法、检测装置及检测系统，用以检测阵列基板上的金属配线之间是否有短路情况发生，并能确定金属配线上短路发生的坐标位置。

为了实现上述目的，本发明提供以下技术方案：

一种阵列基板检测方法，包括：

获取发生短路的两条金属配线在阵列基板上的排列位置，以及发生短路的两条金属配线之间的电压值；

根据所述电压值与从金属配线一端到短路点的长度的对应关系，确定在金属配线上短路发生的坐标位置。

优选地，所述电压值与从金属配线一端到短路点的长度的对应关系具体为：

V₁=V*L₁/L

其中，V₁为发生短路的两条金属配线之间的电压值，V为电源输出的电压值，L₁为从金属配线一端到短路点的长度，L为金属配线的总长。

优选地，所述发生短路的两条金属配线在阵列基板上的排列位置具体通过依次测量相邻两条金属配线之间的电阻获得，当所述相邻两条金属配线之间的电阻值小于设定阈值时，确定所述相邻两条金属配线之间发生短路，所述发生短路的两条金属配线在阵列基板上的排列位置随之确定。

优选地，所述发生短路的两条金属配线在阵列基板上的排列位置具体通过依次测量相邻两条金属配线之间的电压获得，当相邻两条金属配线之间有电压值存在时，确定所述相邻两条金属配线之间发生短路，所述发生短路的两条金属配线在阵列基板上的排列位置随之确定。

本发明同时还提供了一种阵列基板检测装置，包括：

获取设备，用于获取发生短路的两条金属配线在阵列基板上的排列位置，以及发生短路的两条金属配线之间的电压值；

控制设备，用于根据所述电压值与从金属配线一端到短路点的长度的对应关系，确定在金属配线上短路发生的坐标位置。

优选地，所述获取设备用于依次获取相邻两条金属配线之间的电阻值，当相邻两条金属配线之间的电阻值小于设定阈值时，确定所述相邻两条金属配线之间发生短路，所述发生短路的两条金属配线在阵列基板上的排列位置随之确定。

优选地，所述获取设备用于依次获取相邻两条金属配线之间的电压值，当相邻两条金属配线之间有电压值存在时，确定所述相邻两条金属配线之间发生短路，所述发生短路的两条金属配线在阵列基板上的排列位置随之确定。

本发明同时还提供了一种阵列基板检测系统，包括：

短路测量装置，用于确定发生短路的两条金属配线在阵列基板上的排列位置；

电压测量装置，用于测量发生短路的两条金属配线之间的电压值；

控制装置，分别与所述短路测量装置和电压测量装置信号连接，用于根据发生短路的两条金属配线在阵列基板上的排列位置，以及所述电压值与从金属配线一端到短路点的长度的对应关系，确定在金属配线上短路发生的坐标位置。

优选地，所述短路测量装置为电阻测量装置，包括：两个测量探针，以及与所述两个测量探针信号连接的电阻测量仪。