[发明专利]液体喷出头的制造方法

权利要求书

1.一种液体喷出头的制造方法，所述液体喷出头包括：孔板，其具有喷出液体用的喷出孔和与所述喷出孔连通的液体流路；以及基板，其具有用于产生喷出液体用的能量的喷出能量产生元件，所述制造方法包括如下步骤：

（1）在所述基板上形成所述液体流路的模型图案以及围绕所述模型图案的基部图案，

（2）布置覆盖层以覆盖所述模型图案和所述基部图案，

（3）在所述覆盖层中至少形成所述喷出孔，以形成所述孔板，以及

（4）移除所述模型图案以及所述基部图案，

其中，以如下的形状形成所述基部图案：

使所述孔板包括：侧壁部，其构成所述液体流路的侧壁；

以及多个支撑结构，其布置在所述基板上的位于所述侧壁部的周边区域的位置并且支撑构成所述孔板的上壁的上表面部。

2.根据权利要求1所述的液体喷出头的制造方法，其中，

所述侧壁部由布置在所述基部图案和所述模型图案之间的所述覆盖层形成，并且

所述支撑结构由布置在所述基部图案内的所述覆盖层形成。

3.根据权利要求1所述的液体喷出头的制造方法，其中，所述支撑结构呈连接到所述基板和所述上表面部的柱状或壁状。

4.根据权利要求1所述的液体喷出头的制造方法，其中，所述基部图案具有网格形状。

5.根据权利要求4所述的液体喷出头的制造方法，其中，所述网格形状是格子形状。

6.根据权利要求1所述的液体喷出头的制造方法，其中，

在步骤（3）中，在所述覆盖层中同时形成所述喷出孔和与所述基部图案连通的贯通孔，并且

在步骤（4）中，从所述贯通孔移除所述基部图案。

7.根据权利要求1所述的液体喷出头的制造方法，其中，

在步骤（1）中，所述基部图案形成为使得所述基部图案的一部分在所述孔板的侧面暴露，并且

在步骤（4）中，从所述孔板的所述侧面移除所述基部图案。

8.根据权利要求1所述的液体喷出头的制造方法，其中，所述支撑结构具有与所述模型图案的高度相同的高度。

9.根据权利要求1所述的液体喷出头的制造方法，其中，所述模型图案和所述基部图案由相同的材料制成。