[发明专利]液体喷出头的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种喷出液体用的液体喷出头的制造方法，尤其涉及一种喷出诸如墨等记录液体的滴用的喷墨记录头。

背景技术

除了其他的喷墨打印系统之外，还存在被称为“侧射（sideshooter）型打印头”的系统，在该系统中，与喷出能量产生元件所形成于的基板垂直地喷出墨液滴。因为侧射型打印头能够通过缩短喷出能量产生元件与孔之间的距离而利用小液滴进行打印，所以这些年来侧射型打印头已经迅速地变得流行。

另外，近年来，随着高分辨率和高图像品质的记录技术的发展，要求喷出能量产生元件与孔平面之间的距离更加精确。

日本特开平11-138817号公报公开了如图5A和图5B所示的，通过在布置覆盖层时以围绕墨流路的模型图案（mold pattern）111的方式将基部105设置于基板101来制造具有优异的孔平面平坦性的喷墨记录头。

然而，对更高速打印的要求导致喷嘴数量的增加以及墨流路的长度的增大，因而墨流路在芯片（chip）中所占的面积趋向于变大。当墨流路的面积较大时，构成喷嘴的覆盖层的可涂布性能变低，并且喷出能量产生元件与孔平面之间的距离可能变化，使得孔平面的平坦性可能降低。

如果日本特开平11-138817号公报所描述的方法用作上述问题用的解决办法，则如图6A所示，通过加宽基部105并且缩短墨流路的模型图案111与基部105之间的距离能够提高孔平面的平坦性。然而，如图6B和图6C所示，该方法在墨流路的侧面设置了屋檐（eaves）结构，因而可能损坏孔板112。

因此，本发明的目的是提供一种具有优异的孔平面平坦性以及高的孔板强度的打印头的制造方法。

发明内容

本发明提供一种液体喷出头的制造方法，一种液体喷出头的制造方法，所述液体喷出头包括：孔板，其具有喷出液体用的喷出孔和与所述喷出孔连通的液体流路；以及基板，其具有用于产生喷出液体用的能量的喷出能量产生元件，所述制造方法包括如下步骤：（1）在所述基板上形成所述液体流路的模型图案以及围绕所述模型图案的基部图案，（2）布置覆盖层以覆盖所述模型图案和所述基部图案，（3）在所述覆盖层中至少形成所述喷出孔，以形成所述孔板，以及（4）移除所述模型图案以及所述基部图案，其中，以如下的形状形成所述基部图案：使所述孔板包括：侧壁部，其构成所述液体流路的侧壁；以及多个支撑结构，其布置在所述基板上的位于所述侧壁部的周边区域的位置并且支撑构成所述孔板的上壁的上表面部。

本发明能够提供一种具有优异的孔平面平坦性以及高的孔板强度的液体喷出头的制造方法。因此，能够提供具有优异的喷出精确性和优异的耐久性的液体喷出头。

从以下参照附图对示例性实施方式的描述，本发明的其他特征将变得明显。

附图说明

图1A、图1B、图1C、图1D和图1E是用于图示根据示例性实施方式的液体喷出头的制造方法的示例的示意性截面步骤图。

图2A、图2B、图2C、图2D和图2E是用于图示根据示例性实施方式的液体喷出头的制造方法的示例的示意性截面步骤图。

图3A1、图3A2、图3B1、图3B2、图3C1和图3C2是示出在与图1D所示的步骤相对应的步骤中基部图案和支撑结构的布局的示例的示意图。

图4A1、图4A2、图4B1和图4B2是用于图示根据示例性实施方式的喷墨记录头的平坦性的示意图。

图5A和图5B用于图示根据传统方法的基部的示意图。

图6A、图6B和图6C是用于图示根据传统方法的液体喷出头的问题的示意性截面图。

图7A和图7B是示出根据示例性实施方式的液体喷出头的示例的示意性截面图。

具体实施方式

现在将参照附图详细描述本发明的优选实施方式。

下文中，将采用喷墨记录头作为适用例来描述本发明。然而，本发明的适用范围不限于该示例，本发明还可以适用于例如生物芯片的制造以及印刷电子电路用的液体喷出头。除了喷墨记录头之外，液体喷出头还可以包括例如制造彩色滤光片（color filter）用的头。

下文中，将参照附图描述本发明的示例性实施方式。

图7A和图7B是示出根据示例性实施方式的喷墨记录头的构造的示例的示意性截面图。该喷墨记录头（液体喷出头）包括基板1，通过以预定节距并排排列两列诸如发热电阻元件等喷出能量产生元件2来形成基板1。基板可以是例如硅基板。基板1中具有形成在两列喷出能量产生元件2之间的墨供给口（液体供给口）9。