[发明专利]一种提高光刻机工件台定位精度的方法

权利要求书

1.一种提高工件台定位精度的方法，包括如下步骤：

步骤1，将带有多个标记对的测试基底上载到旋转台上；

步骤2，获取所述标记对在旋转台旋转前的位置；

步骤3，设置旋转台旋转角度α；

步骤4，获取旋转台旋转后所述标记对的位置；

步骤5，依据旋转前和旋转后的标记对的位置，分别计算旋转台的多个旋转中心位置； 

步骤6，将计算得到的所述多个旋转中心位置求取均值，得到实际的旋转台旋转中心位置；

步骤7，保存实际的旋转台旋转中心位置，用于在工件台运动中进行补偿；

步骤8，卸载测试基底，完成测试。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于所述标记对位于测试基底中心到边缘距离的2/3处。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于所述每个标记对与测试基底中心连线成直角。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于所述旋转台旋转角度α取620urad以上。