[发明专利]一种键合设备辅助工具及其方法

权利要求书

1.一种键合设备辅助工具，其包括推车及放置在推车上的电子设备和无线摄像头，其中所述推车是可以移动的，所述电子设备包括显示屏以及安装于电子设备内的影像显示软件，所述电子设备内安装有与无线摄像头对应的无线收发装置，通过无线收发装置，电子设备与无线摄像头相互无线传输数据，接收无线摄像头采集的图像通过影像显示软件在显示屏上显示无线摄像头采集的图像。

2.如权利要求1所述的键合设备辅助工具，其特征在于：所述推车包括矩形柜式车体，在车体的底部设置有滚轮，在车体的一侧设置有可以便于推拉车体的把手。

3.如权利要求2所述的键合设备辅助工具，其特征在于：在车体内设置有多个抽屉。

4.如权利要求2所述的键合设备辅助工具，其特征在于：在矩形柜式车体的上表面设置有一个放置所述无线摄像头的开槽。

5.一种半导体芯片的键合方法，其采用前述权利要求1-4项任一项的键合设备辅助工具，其包括：

将无线摄像头安装于键合设备上；

打开电子设备内的影像显示软件，在影像显示软件中预先设定欲键合芯片的劈刀的外形轮廓标准线，以及切刀和导线槽的标准基准点；

无线摄像头采集键合设备的切刀、劈刀及导线槽的影像并传送给电子设备；

调节劈刀、切刀以及导线槽的位置，使得劈刀在电子设备的影像显示软件中的影像轮廓与劈刀的外形轮廓标准线重合，切刀以及导线槽在电子设备的影像显示软件中的影像控制点与标准基点重合；

进行键合操作。

6.如权利要求5所述的键合方法，其特征在于：所述电子设备的影像显示软件内切刀和导线槽的标准基准点是根据劈刀的外形轮廓标准线以及切刀、导线槽的标准状态计算得来。