[发明专利]用于确定内部的层的粗糙度的方法无效
申请号: | 201210431213.0 | 申请日: | 2012-11-01 |
公开(公告)号: | CN103105156A | 公开(公告)日: | 2013-05-15 |
发明(设计)人: | 马蒂亚斯·容布卢特 | 申请(专利权)人: | 西门子公司 |
主分类号: | G01B21/30 | 分类号: | G01B21/30;G01B7/34 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 张春水;李德山 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 确定 内部 粗糙 方法 | ||
1.用于确定在不导电层(13)下方的金属衬底(4)的或金属层(7)的内部的表面(11)的粗糙度的方法,其中,穿过所述不导电层(13),特别是陶瓷层(13),至少在外部的不导电层(13)和内部的衬底(4)或层(7)的过渡区域(10)中逐层地测量至少一个材料参数(P),直至所述材料参数升高并且达到最大的平稳值(25),
其中,在所述过渡区域(10)中的所述材料参数(P)与对比样本的粗糙度相互关联,其中,该粗糙度特别是通过显微照片预先测定。
2.根据权利要求1所述的方法,其中,将电导率确定作为材料参数(P)。
3.根据权利要求1或2中的一项或两项所述的方法,其中,将热导率确定作为材料参数(P)。
4.如权利要求1、2或3中的一项或多项所述的方法,其中,测量由衬底(4)、金属层(7)和最外部的陶瓷层(13)构成的层系统。
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