[发明专利]磁性传感器装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种磁性传感器装置和一种用于制造磁性传感器装置的方法。

背景技术

磁性传感器装置能够例如被配置为测量磁性齿轮的速度。这种磁性速度传感器通常包括带有多个磁性传感器元件诸如霍尔传感器元件或者磁阻（XMR）元件如例如巨磁阻（GMR）传感器元件或者各向异性磁阻（AMR）传感器元件的集成电路。永久磁体向传感器元件提供偏置磁场。在轮子旋转时，轮子的齿在传感器前面经过并且产生小的场变化，这由传感器检测并且由集成电路处理。检测到的场包含有关轮子的角位置和旋转速度的信息。关于这种磁性传感器装置的制造，存在对于减少或者简化制造步骤，特别地减少取放步骤或者模制步骤的稳定需求。另一个稳定需求涉及磁性传感器装置封装的尺寸并且涉及永久磁体的形状的可变性，因为提供具有具体形状的永久磁体从而提供带有特定所期望场分布的永久磁场能够是理想的。

附图说明

附图被包括用于提供对实施例的进一步的理解并且结合在本说明书中并且构成它的一个部分。附图示意实施例并且与说明书一起用于解释实施例的原理。将易于理解其它实施例和实施例的预期优点中的很多优点，因为通过参考以下详细说明，它们变得更好理解。附图的元件并不是必要地相对于彼此成比例。类似的附图标记标注相应的类似的部分。

图1示出根据一个实施例的磁性传感器装置的概略截面侧视图表示；

图2示出根据一个实施例的磁性传感器装置的概略截面侧视图表示；

图3A-3C示出根据实施例的磁性传感器装置的概略截面侧视图表示；

图4A-4C示出根据实施例的磁性传感器装置的概略截面侧视图表示；

图5A-5C示出根据实施例的磁性传感器装置的概略截面侧视图表示；

图6示出根据一个实施例的磁性传感器装置的概略透视表示；

图7示出用于示意根据一个实施例的、用于制造磁性传感器装置的方法的流程图；

图8示出用于示意根据一个实施例的、用于制造磁性传感器装置的方法的流程图；

图9A-9G示出用于示意根据一个实施例的、用于制造磁性传感器装置的方法的概略顶视图和侧视图表示；并且

图10A-10E示出根据一个实施例的、用于获得如在图9C中所示的中间产品的方法步骤的概略截面侧视图表示。

具体实施方式

现在参考附图描述方面和实施例，其中贯穿始终一般利用类似的附图标记来引用类似的元件。在以下说明中，为了解释的意图，阐述了多个具体细节从而提供对实施例的一个或者多个方面的彻底理解。然而，本领域技术人员可以清楚，可以用较低程度的具体细节实践实施例的一个或者多个方面。在其它情形中，已知的结构和元件被以概略的形式示出从而便于描述实施例的一个或者多个方面。要理解，在不偏离本发明的范围的情况下可以利用其它实施例并且可以作出结构或者逻辑变化。应该进一步指出，附图未成比例或者并不是必要地成比例。

另外，虽然可能关于几种实现中的仅仅一种实现公开了实施例的特定特征或者方面，但是这种特征或者方面可以如可能对于任何给定的或者特定的应用所期望地并且有利地被与其它实现的一个或者多个其它特征或者方面组合。进而，就在或者详细说明或者权利要求中使用术语“包括”、“具有”、“带有”或者其其它变型而言，这种术语旨在以类似于术语“包含”的方式是包括性的。可以使用术语“耦接”和“连接”连同派生词。应该理解这些术语可以被用于指示两个元件彼此配合或者相互作用，而与它们是处于直接物理接触或者电接触还是它们并非处于直接相互接触无关。而且，术语“示例性”仅仅意味着作为一个实例而非最好或者最佳。因此，不要在限制性的意义上考虑以下详细说明，并且本发明的范围由所附权利要求限定。

在几个实施例中，层或者叠层被施加到彼此或者材料被施加或者沉积到层或者其它基板上。应该理解，任何这样的术语如“施加”或者“沉积”均意在照字面地覆盖将层或者材料施加到基板上的所有种类和技术。特别地，它们意在覆盖其中层或者材料整体上被同时施加的技术比如例如层叠技术以及其中层或者材料被以顺序方式沉积的技术比如例如溅射、电镀、模制、CVD等。