[发明专利]一种有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法

权利要求书

1.一种有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法，其特征在于，

于一站点上，对已送达的所有lot进行组别划分；

确认每个lot的交货期；

计算每个lot的紧迫性系数；

根据所述紧迫性系数重新赋予上述每个lot的优先级；

根据优先级依次对每个lot进行该站点的制程工艺。

2.根据权利要求1所述的有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法，其特征在于，进行所述组别划分时去除紧急批次的lot和异常的lot，紧急批次的lot先于设定有优先级的lot进行该站点的制程工艺。

3.根据权利要求2所述的有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法，其特征在于，所述异常的lot包括缓存批次lot，有划痕的lot和刻意减缓进度的lot。

4.根据权利要求1所述的有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法，其特征在于，所述每个lot的交货期采用公式D=D₁+Z+N进行确定，D为lot的交货期，D₁为lot的下线日期，Z为lot承诺的生产周期，N为缓存天数。

5.根据权利要求1所述的有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法，其特征在于，采用公式C=（D-D₂）/（S-X）计算每个lot的紧迫性系数，C为lot的紧迫性系数，D为lot的交货期，D₂为当前日期，S为lot的制程总站点数，X为lot已完成站点数。

6.根据权利要求1所述的有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法，其特征在于，lot的优先级级别数与该lot的紧迫性系数成反比。

7.根据权利要求1-6任意一项所述的有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法，其特征在于，每隔一定时间后，重复上述步骤以重新确定该站点送达的每个lot的优先级。

8.根据权利要求7所述的有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法，其特征在于，每隔12个小时，重复重新确定该站点送达的每个lot的优先级一次。

9.根据权利要求7所述的有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法，其特征在于，根据所述紧迫性系数可赋予上述lot为紧急批次。

10.根据权利要求8所述的有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法，其特征在于，根据所述紧迫性系数赋予上述lot为紧急批次时，交货期小于或等于当前日期值。