[发明专利]一种有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法

说明书

技术领域

本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法。

背景技术

目前，在工厂实现大规模量产后，其产品的生产周期均是由人工控制，即当发现某lot的准时交货时间有问题时，只能通过人工方式改变该lot的优先权，以使得该lot能够准时交货；但由于是人工控制，而且都是当lot的交货时间可能滞后才对lot的优先级进行调控，很容易由于调控不当或时间紧迫，需要付出成倍的人力和产能才能准时交货，甚至有些lot的生产周期失控根本就无法赶上交货时间，从而严重影响准时交货率。

图1是本发明背景技术中由于生产周期失控造成不良影响的示意图；如图1所示，当客户将大量订单交付给工厂后，由于线上产品多且复杂，人工调控不当易造成生产周期的失控，进而影响产品的准时交货率，最终造成客户满意度的降低而丧失订单，使得工厂蒙受巨大的损失；如某一lot的优先级是4，但由于在某个站点进程（process）问题被耽搁（hold）两天，当恢复进程（release）后没有被注意到，势必会影响该lot的准时交货率。

图2是本发明背景技术中采用人工控制的产品生产周期的正态分布图，纵轴表示lot数量比例，横轴表示生产周期（单位为天/光罩层）；如图2所示，方框a中的曲线表示生产周期超速部分，会造成产能的浪费，而方框b中的曲线则表示生产周期较差，即生产周期失控部分，失控的异常值会大大影响产品的准时交货率；所以，要想控制生产周期的失控及产能的浪费，要将方框a和b中的曲线想中间部分收敛才行。

发明内容

针对上述存在的问题，本发明揭示了一种有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法（A effective Fab cycle time control method），主要是通过自动设定并及时更新每个lot的紧迫系数，自动调控站点上每个lot的优先级。  

本发明的目的是通过下述技术方案实现的：

本发明一种有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法，其中，

于一站点上，对已送达的所有lot进行组别划分；

确认每个lot的交货期；

计算每个lot的紧迫性系数；

根据所述紧迫性系数重新赋予上述每个lot的优先级；

根据优先级依次对每个lot进行该站点的制程工艺。

上述的有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法，其中，进行所述组别划分时去除紧急批次的lot和异常的lot，紧急批次的lot先于设定有优先级的lot进行该站点的制程工艺。

上述的有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法，其中，所述异常的lot包括缓存批次lot，有划痕的lot和刻意减缓进度的lot。

上述的有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法，其中，所述每个lot的交货期采用公式D=D₁+Z+N进行确定，D为lot的交货期，D₁为lot的下线日期，Z为lot承诺的生产周期，N为缓存天数。

上述的有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法，其中，采用公式C=（D-D₂）/（S-X）计算每个lot的紧迫性系数，C为lot的紧迫性系数，D为lot的交货期，D₂为当前日期，S为lot的制程总站点数，X为lot已完成站点数。

上述的有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法，其中，lot的优先级级别数与该lot的紧迫性系数成反比。

上述的有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法，其中，每隔一定时间后，重复上述步骤以重新确定该站点送达的每个lot的优先级。

上述的有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法，其中，每隔12个小时，重复重新确定该站点送达的每个lot的优先级一次。

上述的有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法，其中，根据所述紧迫性系数可赋予上述lot为紧急批次。

上述的有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法，其中，根据所述紧迫性系数赋予上述lot为紧急批次时，交货期小于或等于当前日期的值。

上述的有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法，通过如计算机等自动控制装置实现每个站点上各个lot优先级的重新赋予及更新，以实现对产品生产周期自动优化处理的目的。