[发明专利]基板检查装置

权利要求书

1.一种基板检查装置的检查主体部，具备：

输送区域，其将被检查基板从搬入侧输送至搬出侧；以及

检查区域，其配置有用于对所述被检查基板进行规定检查的检查夹具，

所述检查主体部具备：

第一输送装置，其配置于所述输送区域，并将所述被检查基板从所述搬入侧输送至所述搬出侧；以及

第二输送装置，其以沿着与所述第一输送装置的输送方向垂直的方向输送所述被检查基板的方式被配置，并用于在所述第一输送装置的规定位置与所述检查区域内的配置有所述检查夹具的位置之间输送所述被检查基板，

其中，所述第二输送装置具备保持所述被检查基板的把持装置。

2.根据权利要求1所述的基板检查装置的检查主体部，其中，所述检查夹具包括：具有探头的夹具头部和针对探头进行信号切换的扫描块。

3.根据权利要求1或2所述的基板检查装置的检查主体部，其中，所述第二输送装置的所述把持装置具备上侧的固定部和下侧的按压部，并通过所述下侧的按压部的转动来保持所述被检查基板或释放所述被检查基板。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的基板检查装置的检查主体部，其中，所述检查主体部的所述检查夹具具备CCD照相机，利用CCD照相机检测出所述被检查基板上的规定标记，而能够修正所述检查夹具在水平方向和垂直方向上的位置偏差和倾角偏差。

5.一种基板检查装置，具备：

搬入部，其具备用于逐个地搬入被检查基板的输送装置；

根据权利要求1至4中任一项所述的检查主体部；以及

分选存放部，其根据检查结果对在所述检查主体部中检查过的所述被检查基板进行分选并存放，

其中，将所述被检查基板从所述搬入部提供至所述检查主体部的所述搬入侧，进而从所述搬出侧输送至所述分选存放部。

6.根据权利要求5所述的基板检查装置，其中，

所述检查主体部形成为长方体形状的框体，进而

在所述框体的一方的所述搬入侧形成有与所述搬入部连通连接的入口部，

在所述框体的另一方的搬出侧形成有与所述分选存放部连通连接的出口部，

所述第一输送装置被配置成将所述被检查基板从所述入口部向所述出口部直线地输送，

所述第二输送装置从所述第一输送装置的所述规定位置呈直角地配置，并使所述被检查基板在从所述第一输送装置的规定位置至所述检查区域内的配置有所述检查夹具的位置之间往复移动。

7.根据权利要求5或6所述的基板检查装置，其中，所述搬入部具备用于吸住并抬起所述被检查基板并将其放置于所述输送装置上的吸引装置。

8.根据权利要求5至7中任一项所述的基板检查装置，其中，所述分选存放部根据检查结果，将所述被检查基板分选为有可能断线、有可能短路或没有这些问题的基板来进行存放。

9.一种检查基板并根据检查结果进行分选存放的方法，其包括：

搬入工序，对被检查基板进行叠置并将其逐个地搬入至检查主体部；

第一输送工序，将从所述搬入工序搬入的所述被检查基板直线状地输送至搬出工序；

第二输送工序，在所述第一输送工序中的输送路径的规定位置，沿着与所述输送方向垂直的方向，将所述被检查基板输送至检查区域；

对齐工序，在所述检查区域中，进行位于所述检查区域内的检查夹具与所述被检查基板之间的位置的对齐；

检查和分选工序，在所述检查区域中，检查所述被检查基板的电气特性，并分选为有可能断线、有可能短路或没有这些问题的被检查基板；

第三输送工序，将所述被检查基板从所述检查区域输送至所述第一输送工序的所述输送路径的规定位置；

搬出工序，将所述被检查基板从所述检查区域搬出；以及

存放工序，根据所述检查和分选工序中的结果，将经所述搬出工序搬出的所述被检查基板存放在各个分选的位置。