[发明专利]基板检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及对预先设定在检查对象物上的检查点之间的电气特性进行检测，来进行检查点之间的导通检查、漏电检查等的基板检查装置。

背景技术

基板检查装置具备夹具和检查装置，所述夹具上安装有多个接触件、探头、探针、接触销等。检查装置通过使夹具接近检查对象物而使接触件等的前端与检查点接触，并经由接触件等从检查装置向检查点供给电流或电信号，另一方面，从该检查点检测出电信号，由此检测出检查点之间的电气特性，来进行检查点之间的是否导通、是否漏电等的检查。

作为对象物，可以例举出例如印刷布线基板、挠性基板、陶瓷多层布线基板、液晶显示器或等离子体显示器用的电极板、或半导体封装用的封装基板或膜载体（film carrier）等各种基板、半导体晶片或半导体芯片或CSP（chip size package：芯片尺寸封装）等的半导体装置（LSI（Large Scale Integration：大规模集成电路）等）。

例如，在受检物是基板且搭载在其上的物品是IC等半导体电路或电阻等电子/电气部件的情况下，形成在基板上的布线、电极等成为检查的对象物。在此情况下，为了保证作为检查对象物的布线能够正确地将电信号传递给它们，测量设置在基板上的检查点之间的电阻值和漏电流等电气特性，来判断所述布线是否良好，所述基板是安装电子/电气部件之前的印刷布线基板、在液晶面板或等离子体显示面板上形成有布线的电路基板。

在对象物是LSI的情况下，形成在LSI上的电子电路成为对象部，该电子电路的表面焊盘分别成为对象点。在此情况下，为了保证形成在LSI上的电子电路具有希望的电气特性，测量检查点之间的电气特性，判断该电子电路是否良好。

在基板检查装置中，使用输送装置将基板从搬入装置输送至检查装置，并在检查装置中进行上述检查，然后利用输送装置将检查完的基板从检查装置输送至分选存放部。在分选存放部中，根据检查结果将基板分类至规定位置并收容。在检查装置中，当基板输送过来时，通过夹具移动装置使基板连接夹具的检查用连接端子（接触件、探头、探针、接触销等）移动至被检查基板的对象点并与对象点抵接来进行对象物的规定检查，当检查结束时，通过夹具移动装置使该夹具从对象点移动至待机位置。在规定的对象点的检查结束之前反复进行上述动作。

［专利文献］

专利文献1：日本特开2010-54228号公报  专利文献1中公开了一种电路基板检查装置，其具备一对保持基板的保持部、基板的输送机构和对接触位置的偏差进行修正的检查部。

专利文献1的电路基板检查装置通过具备对接触位置的偏差进行修正的单元而提高了检查精度。近年来，为了反映经济状况的低迷而降低检查后的最终产品的价格，所以降低制造阶段中的费用的要求正在提高。

发明内容

本发明为了响应这种要求，其目的在于提供一种由一台检查装置就能够应对各种检查要求的基板检查装置。

本发明的目的在于提供一种基板检查装置，其通过高速地进行基板检查而能够降低基板检查装置的运行成本。

本发明的目的在于提供一种基板检查装置，其通过容易地进行夹具的组装和维修而能够降低基板检查装置的运行成本。

此外，本发明的目的在于提供一种基板检查装置，其通过有效地控制检查时的夹具的动作而能够降低基板检查装置的运行成本。

因此，本发明涉及的基板检查装置的检查主体部具备：输送区域，其将被检查基板从搬入侧输送至搬出侧；以及检查区域，其配置有用于对所述被检查基板进行规定检查的检查夹具，进而包括：第一输送装置，其配置于所述输送区域，并将所述被检查基板从所述搬入侧输送至所述搬出侧；以及第二输送装置，其被配置为沿着与所述第一输送装置的输送方向垂直的方向输送所述被检查基板的方式，并用于在所述第一输送装置的规定位置与所述检查区域内的配置有所述检查夹具的位置之间输送所述被检查基板，其中，所述第二输送装置具备保持所述被检查基板的把持装置。

在上述的基板检查装置的检查主体部中，所述检查夹具可以具备：具有探头的夹具头部、以及针对探头进行信号切换的扫描块。

在上述的基板检查装置的检查主体部中，所述第二输送装置的所述把持装置包括上侧的固定部和下侧的按压部，通过所述下侧的按压部的转动，能够保持所述被检查基板或释放所述被检查基板。