[发明专利]一种液体喷洒装置

权利要求书

1.一种液体喷洒装置，包括液杯（1）、承片台（2）、主轴电机（3）及摆臂装置，其中摆臂装置包括夹持气缸（5）、升降气缸（7）及摆臂（13），所述液杯（1）与主轴电机（3）的输出轴相连，在液杯（1）内设有盛放晶片（4）的承片台（2），所述承片台（2）及其上的晶片（4）随液杯（1）由主轴电机（3）驱动旋转；所述摆臂（13）的一端与升降气缸（7）的输出端相连，另一端连接有夹持气缸（5），并且摆臂（13）的另一端设有至少一个向所述晶片（4）喷洒液体的液体喷嘴（8），通过机械手（6）送来的晶片（4）由所述夹持气缸（5）夹持，所述摆臂（13）及其一端连接的夹持气缸（5）通过升降气缸（7）驱动升降。

2.按权利要求1所述的液体喷洒装置，其特征在于：所述夹持气缸（5）两侧的输出端分别通过连接板（9）连接有夹持晶片（4）的夹持板（10），两侧夹持板（10）相对的面为弧面。

3.按权利要求2所述的液体喷洒装置，其特征在于：所述夹持板（10）弧面的底部设有弧形的凸台（11），所述晶片（4）承载于该凸台（11）上，并通过夹持板（10）的弧面夹持。

4.按权利要求2或3所述的液体喷洒装置，其特征在于：所述夹持板（10）弧面的弧度与所述晶片（4）的曲率相同。

5.按权利要求1、2或3所述的液体喷洒装置，其特征在于：所述夹持气缸（5）位于承片台（2）的上方。

6.按权利要求1所述的液体喷洒装置，其特征在于：所述承片台（2）的轴向中心线与主轴电机（3）输出轴的轴向中心线偏心设置。

7.按权利要求1或6所述的液体喷洒装置，其特征在于：所述承片台（2）上沿圆周方向均布有多个立柱（12），晶片（4）的边缘与该立柱（12）抵接，由主轴电机（3）驱动旋转的晶片（4）在旋转过程中通过产生的离心力固定在所述承片台（2）上。

8.按权利要求1所述的液体喷洒装置，其特征在于：所述液体喷嘴（8）喷洒在晶片（4）上的液体在液杯（1）旋转的过程中被甩出、通过液杯（1）收集，盛放在承片台（2）上的晶片（4）被所述液体浸泡。