[发明专利]基板处理装置

说明书

技术领域

本发明涉及构成为平行平板型等离子体处理装置的基板处理装置。

背景技术

当前，作为平行平板型等离子体处理装置，已知有在腔室内设置有阳极·阴极电极、从设置在腔室外的电源经过匹配器（matcher）后向阴极电极供给高频电力的装置（例如专利文献1）。

通常，等离子体负载的阻抗为1～数Ω左右，因此，匹配器需要使作为传送路径的阻抗的50Ω和1～数Ω左右的低阻抗匹配。

在将这样的平行平板型等离子体处理装置应用于太阳能电池面板或平板面板等所使用的大型基板的等离子体处理的情况下，需要大的功率，而且，如上所述，要取得与低阻抗匹配的匹配器的输出阻抗与等离子体负载的阻抗同样低，因此，流向匹配器的电流和从匹配器流出的电流变得极大，容易产生功率损耗等。此外，当这样输出阻抗低时，即使由于匹配器和输送线路的微妙的组装的差异等引起的阻抗的微小的差也会使得阻抗的变动率变大，成为大的电流差出现，在投入电极的功率中产生大的偏差。

此外，如果基板大型化则电极也需要同样地大型化，相对于高频电力波长，电极的长度能够无视，因此，产生驻波等，难以使电压分布均匀。如果电压分布不均匀，则等离子体密度也不会均匀，因此会对产品的处理结果产生大的影响。

作为针对后者的问题的技术，已知有在电极的两侧分别经匹配器供电的技术（专利文献2等）、从一个匹配器分支向电极的两端供电的技术（专利文献3等）。但是，这些技术不是解决上述匹配器的输出阻抗小所引起的问题的技术，即使应用这些技术这样的问题也依然存在。此外，在分别经匹配器向电极的两侧供电的情况下，两个匹配器与同一负载连接，因此存在产生由相互干扰而引起的匹配不良的问题，且具备两个昂贵的大电流用的可变电容器的匹配器的数量增加，因此装置成本变高。并且，在将低阻抗的匹配器输出分支、与电极的两侧连接的情况下，高功率的高频电力所流经的路径变长，电力损耗极大。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开昭61-119686号公报

专利文献2：日本特开2001-274099号公报

专利文献2：日本特开2000-003878号公报

发明内容

发明想要解决的问题

对于上述那样匹配器的输出阻抗低而引起的问题，尚没有有效的解决办法，用于使电极的电压分布均匀的文献2、3等中记载的技术也不够充分。

本发明是鉴于这样的情况而完成的，其目的在于提供一种基板处理装置，其不易产生匹配器和输送线路的发热和功率损耗、并且不易产生匹配器和输送线路的组装的差异而引起的阻抗的变动所引起的电流差。

此外，提供一种基板处理装置，其除了以上各点之外，还能够以不产生由相互干扰引起的匹配不良和电力损耗等的方式使与大型基板对应地大型化的电极的电压分布均匀。

用于解决问题的方法

为了解决上述问题，本发明的第一方面提供一种基板处理装置，其为利用通过高频电力产生的等离子体对基板进行处理的等离子体处理装置，上述基板处理装置的特征在于，包括：产生高频电力的高频电源；等离子体生成电极，其用于被从上述高频电源供给高频电力而生成等离子体；单一的匹配器，其设置在上述高频电源与上述等离子体生成电极之间，使传送路径的阻抗与负载的阻抗匹配；和阻抗调整电路，其设置在上述匹配器与上述等离子体生成电极之间，对它们之间的阻抗进行调整，上述匹配器将等离子体和上述阻抗调整电路作为一个负载取得阻抗的匹配，通过利用上述阻抗调整电路对阻抗进行调整，将上述匹配器的输出阻抗调整为比等离子体的阻抗高的规定的值。

在上述第一方面中，上述阻抗调整电路具有一个可变电容，能够通过上述可变电容调整阻抗。此外，上述阻抗调整电路还具有一个以上的固定电容，能够通过上述固定电容进行阻抗的微调整。优选上述固定电容以能够切换的方式设置，能够根据需要选择任一个或两个以上。