[发明专利]一种离子注入机冷泵的控制方法

权利要求书

1.一种离子注入机冷泵的控制方法，包括：服务器(1)、工控机(2)、冷泵控制器(3)、压缩机1(4)、压缩机2(5)、冷泵P1(6)、冷泵P2(7)、冷泵P3(8)、冷泵P4(9)和冷泵P5(10)，其中服务器(1)与工控机(2)之间是通过TCP/IP协议进行通信，工控机(2)与冷泵控制器(3)，冷泵控制器(3)与压缩机、冷泵之间都是通过RS232协议进行通信，每个冷泵和压缩机都有一个通信地址，地址可以改动，但是同一个组里不能有相同的地址，否则就不能正常通信。

2.如权利要求1所述的一种离子注入机冷泵的控制方法，其特征在于：通过一个串口端口就可以控制多个冷泵和压缩机，大大降低了所需的硬件资源，节约了成本。

3.如权利要求1所述的一种离子注入机冷泵的控制方法，其特征在于：将多个冷泵和压缩机放到同一个通信模块中，有利于软件编程，定时循环采集状态信息，但定时间隔不需要太短，因为冷泵在几秒内，一般温度是很少变化的，过短的时间间隔会浪费系统资源，降低系统性能。

4.如权利要求1所述的一种离子注入机冷泵的控制方法，其特征在于：在系统控制多个冷泵和压缩机时，冷泵再生需要干泵进行抽气，而一台离子注入机一般在靶室只有一个干泵，如果多个冷泵同时再生，在某个时间段都要用到干泵进行抽气，这样就可能会造成冷泵再生失败，甚至损耗硬件；而本控制方法运用互斥思想，即抢占资源，在同一时间段，只允许一个冷泵使用干泵，等该冷泵使用完毕后，释放干泵资源，其他冷泵可以使用干泵了，这样可以降低消耗，提高性能，也有利于联锁保护其他部件。