[发明专利]一种离子注入机冷泵的控制方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种半导体器件制造冷泵控制系统，尤其涉及离子注入机的一种离子注入机冷泵的控制方法。

背景技术

离子注入机是一种必须在真空系统下才能正常运行的设备，真空系统是离子注入机整个大系统中的一个重要组成部分之一，它是离子注入机传片系统、引束系统和注入系统的前提和保障，而束线和靶室高真空系统的建立，需要冷泵的制冷降温来维持高真空状态，因此一套行之有效的冷泵控制方法就非常重要。而目前冷泵控制过程中，经常遇到自动充气、再生失败等问题，浪费了大量维护时间，降低了设备的生产效率，增加了成本。

鉴于高真空系统的重要性，如何开发出一种离子注入机冷泵的控制方法是离子注入机自动化控制急需解决的问题。

发明内容

本发明是针对离子注入机现有技术中冷泵的控制，影响设备自动化控制，而开发出的一种离子注入机冷泵的控制方法。

本发明通过以下技术方案实现：

1.一种离子注入机冷泵的控制方法，如图1所示包括：服务器(1)、工控机(2)、冷泵控制器(3)、压缩机1(4)、压缩机2(5)、冷泵P1(6)、冷泵P2(7)、冷泵P3(8)、冷泵P4(9)和冷泵P5(10)，其中服务器(1)与工控机(2)之间是通过TCP/IP协议进行通信，工控机(2)与冷泵控制器(3)，冷泵控制器(3)与压缩机、冷泵之间都是通过RS232协议进行通信，每个冷泵和压缩机都有一个通信地址，地址可以改动，但是同一个组里不能有相同的地址，否则就不能正常通信。

2.一种离子注入机冷泵的控制方法，如图2中所示：再生(1)过程制定了一个系统全面的流程，每个过程阶段都有相应的条件判断，把设备可能出现的状态，全部都考虑了进去，避免了因考虑不周全，存有漏洞，而造成对设备的损坏，根据设备当前不同的状态，进入不同的流程判断，满足相应条件后才能进入下一个阶段，能够安全快速地进行再生(1)。

3.一种离子注入机冷泵的控制方法，如图2中所示：再生(1)过程包括了其他的子过程，如冷泵升温(2)、除气(3)和开始制冷降温(6)等，所以把再生(1)过程全面完善的系统和流程化，就大幅度提高了冷泵控制系统的稳定性和性能。

4.一种离子注入机冷泵的控制方法，如图2中所示：在控制过程中，是不断地在检测设备的运行状态(11)，主要包括设备报警(12)和通信状态(13)，设备报警(12)主要包括硬件、水、电、气等报警，通信状态(13)主要是指通信是否正常，是否能够采集冷泵或压缩机的信息，如果设备报警(12)和通信状态(13)异常，那么状态会迁跃到错误状态，提示错误(14)后再生结束(15)，这样就降低了冷泵出现故障后的等待时间，能够及时地反应错误状态，中止当前的流程，降低对硬件的损坏及辅助系统的消耗，最大限度地降低对设备整体稳定性的影响。

本发明具有如下显著优点：

1.硬件连接和通信稳定，通过一个端口控制多台压缩机和冷泵，在保证安全正常工作的情况下，降低硬件消耗，节约资源和成本。

2.冷泵和压缩机之间都互相联锁，大幅度降低了因硬件、辅助等其他原因，因信号异常，对设备造成的损坏和系统稳定性的降低。

3.采用状态机的编程模式，通过完善的流程和系统控制方法，在保证设备安全的前提下，提高了程序的执行速度，节约了时间，提高了效率。

附图说明

图1为离子注入机冷泵的通信控制模式图。

图2为离子注入机冷泵的再生控制流程图。

具体实施方式

下面结合附图1和附图2对本发明作进一步的介绍，但不作为对本发明的限定。