[发明专利]阀板连接组件、门阀装置及等离子体加工设备有效

专利信息
申请号: 201210455667.1 申请日: 2012-11-14
公开(公告)号: CN103807454A 公开(公告)日: 2014-05-21
发明(设计)人: 张金斌 申请(专利权)人: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
主分类号: F16K1/48 分类号: F16K1/48;F16K1/20;H01J37/32
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人: 彭瑞欣;张天舒
地址: 100176 北京*** 国省代码: 北京;11
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 连接 组件 门阀 装置 等离子体 加工 设备
【权利要求书】:

1.一种阀板连接组件,用于将阀板与驱动轴连接,所述驱动轴用于驱动所述阀板绕其旋转,其特征在于,包括主体、第一调节单元和第二调节单元,其中

所述主体的一端与所述驱动轴连接,另一端借助所述第一调节单元和第二调节单元与所述阀板连接;

所述第一调节单元的一端与所述主体通过螺纹连接,另一端与所述阀板可旋转地连接,并且所述第一调节单元的轴线分别垂直于所述驱动轴的轴向和径向;所述第一调节单元通过改变其与所述主体和/或阀板在所述第一调节单元的轴向上的相对位置,来调节所述主体和阀板之间在所述第一调节单元所在位置处的间距;

在所述主体中设置有沿分别垂直于所述驱动轴的轴向和径向的方贯穿所述主体厚度的摆动空间,所述摆动空间与所述第一调节单元间隔设置;所述第二调节单元的一端穿过所述摆动空间,且与所述主体可旋转地连接,另一端与所述阀板可旋转地连接,并且所述第二调节单元的轴线分别垂直于所述驱动轴的轴向和径向;所述第二调节单元通过改变其与所述主体和/或阀板在所述第二调节单元的轴向上的相对位置,来调节所述主体和阀板之间在所述第二调节单元所在位置处的间距。

2.根据权利要求1所述的阀板连接组件,其特征在于,所述第一调节单元包括第一调节柱、第一螺母和第一阀板连接轴,其中

在所述主体上设置有沿分别垂直于所述驱动轴的轴向和径向的方向贯穿所述主体厚度的安装通孔;

所述第一阀板连接轴可自转地与所述阀板连接,且其轴线与所述安装通孔的轴线相互垂直,并与所述驱动轴的轴线相互平行;并且,在所述第一阀板连接轴上设置有贯穿其径向厚度的第一连接孔,所述第一连接孔的轴线与所述安装通孔的轴线重合;

所述第一调节柱分别穿过所述安装通孔和第一连接孔,并与二者采用螺纹连接的方式相配合;并且,所述第一调节柱与所述安装通孔相配合的螺纹的方向与所述第一调节柱与所述第一连接孔相配合的螺纹的方向相反;

通过旋转所述第一调节柱来改变其分别与所述安装通孔和第一连接孔在所述安装通孔的轴向上的相对位置来调节所述主体和阀板之间在所述第一调节柱所在位置处的间距;

所述第一螺母固定在所述安装通孔的端面上,且与所述第一调节柱相配合。

3.根据权利要求1所述的阀板连接组件,其特征在于,所述第一调节单元包括第一调节柱、第一螺母和第一阀板连接轴,其中

在所述主体上设置有安装通孔,所述安装通孔沿垂直于所述驱动轴的轴线方向贯穿所述主体,且与所述旋转空间间隔设置;

所述第一阀板连接轴可自转地与所述阀板连接,且其轴线与所述安装通孔的轴线相互垂直,并与所述驱动轴的轴线相互平行;

所述第一调节柱包括沿其轴向串接的第一子调节柱和第二子调节柱,所述第一子调节柱的一端穿过所述安装通孔,且与所述安装通孔采用螺纹连接的方式相配合;所述第一子调节柱的另一端与所述第二子调节柱的一端可自转地连接,所述第二子调节柱的另一端与所述第一阀板连接轴固定连接;

通过旋转所述第一调节柱来改变其与所述安装通孔在所述安装通孔的轴向上的相对位置来调节所述主体和阀板之间在所述第一调节柱所在位置处的间距;

所述第一螺母固定在所述安装通孔的端面上,且与所述第一子调节柱相配合。

4.根据权利要求2或3所述的阀板连接组件,其特征在于,所述安装通孔为由两个不同孔径的孔组成的阶梯孔,并且位于靠近所述阀板的一端的孔的孔径大于位于远离所述阀板的一端的孔的孔径;所述第一调节柱的一端或所述第一子调节柱的一端与位于远离所述阀板的一端的所述孔采用螺纹连接的方式相配合。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司,未经北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201210455667.1/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code