[发明专利]阀板连接组件、门阀装置及等离子体加工设备

说明书

技术领域

本发明涉及半导体设备制造技术领域，具体地，涉及一种阀板连接组件、门阀装置及等离子体加工设备。

背景技术

在半导体设备制造行业，为了提高生产效率，在生产集成电路、液晶显示器、薄膜太阳能电池及LED等产品时，通常将几十甚至上百个电池片放置在大尺寸的载板上，然后将该载板依次传输至用于实施不同工艺的各个腔室中，从而实现在一个工艺周期内完成多个电池片的加工。

图1为现有的等离子体加工设备的结构示意图。请参阅图1，等离子体加工设备包括三个顺序设置的工艺腔室(加热腔、工艺腔和冷却腔)、上料台、下料台、载板返回系统、真空系统和充气系统。其中，当上料台装载完未加工的电池片后，门阀1打开(门阀1一侧和大气相通，另一侧与加热腔相通)并将载板传入加热腔内，之后加热腔的真空系统(图中未示出)将加热腔从大气状态转换成真空状态；加热腔开始对载板进行加热，当把载板加热到预定温度后，位于加热腔和工艺腔之间的门阀2开启，并在将载板自加热腔传送到工艺腔之后该门阀2立即关闭；工艺腔对未加工的电池片进行预定工艺制程，完成工艺后位于工艺腔和冷却腔之间的门阀2开启，并让载板自工艺腔传送到冷却腔之后该门阀2立即关闭；冷却腔对加工后的电池片进行冷却，完成冷却后充气系统(图中未示出)向冷却腔内充入氮气，以使冷却腔由真空状态转换成大气状态，之后门阀1(门阀1一侧和大气相通，另一侧与冷却腔相通)开启并将载板传送到下料台上，载板上的加工后的电池片在下料台被卸除，之后下料台竖直下降到载板返回系统的位置并将空载的载板传送到返回系统上，返回系统再将载板传送到下降后的上料台上，最后上料台上升并往载板上装载未工艺电池片，依此进行持续循环生产。由上述工作流程可知，为了保证各个工艺腔室在实施工艺的过程中能够保持真空状态，在相邻两个工艺腔室之间需要设置门阀装置，用以将相邻两个腔室密封地串接在一起。由于载板的厚度较小，通常为20-40mm，而载板的长度较大，其范围通常在1000～2000mm，而用于连通相邻两个腔室的载板通道的尺寸必须大于载板的上述外形尺寸，因而该载板通道的长度尺寸也相应地较大，这对门阀装置提出了很高的要求：一方面大尺寸的门阀腔体通常采用焊接结构(非焊接结构的造价成本很高)，导致需要高精度地加工才能精密地集成阀板运动机构；另一方面由于阀板需要频繁地进行开关动作，以开启或关闭载板通道，因而必须提高阀板运动机构的稳定性才能够保证阀板在长期地频繁开启闭合动作中的密封可靠性。

图2a为现有的一种门阀装置的结构示意图。请参阅图2a，门阀装置包括门阀腔体(图中未示出)、驱动轴22、阀板24和阀板连接组件23。其中，门阀腔体设置在相邻两个工艺腔室之间，用以将相邻两个工艺腔室密封地串接在一起。门阀腔体包括腔体侧壁20，其为位于门阀腔体和与之相邻的两个工艺腔室之间的侧壁，并且在腔体侧壁20上设置有载板通道，其连通门阀腔体和与之相邻的工艺腔室，载板可经由该载板通道进入工艺腔室。驱动轴22借助驱动轴固定件21固定在门阀侧壁20上，阀板24借助阀板连接组件23与驱动轴22连接。而且，驱动轴22与气缸(图中未示出)连接，在气缸的驱动下，驱动轴22带动阀板24旋转，以开启或封闭载板通道。

另外，阀板连接组件23还可以对其与阀板24之间的间距和角度进行调节，换言之，对阀板24相对于载板通道的位置和角度进行调节，以避免在阀板24因尺寸误差或安装误差等原因而导致其封闭载板通道时的位置和角度产生偏差，从而出现无法密封载板通道的问题。

具体地，图2b为图2a所示阀板连接组件的剖视图。如图2b所示，阀板连接组件23包括连杆，该连杆包括第一连接部231和第二连接部233。其中，第一连接部231的一端与第二连接部233连为一体，另一端与驱动轴22固定连接；二者的连接方式具体为：在第一连接部231上设置有第一通孔，其套制在驱动轴22上，并且第一通孔的孔径与驱动轴22的轴径相配合。而且，在第一连接部231的与驱动轴22连接的端面上设置有与第一通孔相连通的开口232，并在第一通孔的径向方向上设置有贯穿开口232的调节螺栓237，通过旋紧调节螺栓237，可以减小开口232在第一通孔的径向方向上的尺寸，从而可以减小第一通孔的孔径。这可以增加第一通孔与驱动轴22之间的静摩擦力，从而阻止第一连接部231与驱动轴22产生相对转动。