[发明专利]高频天线电路以及感应耦合等离子体处理装置

权利要求书

1.一种高频天线电路，其用于在感应耦合等离子体处理装置中、在处理衬底的处理室内生成感应耦合等离子体，该高频天线电路的特征在于，具有：

等离子体生成天线，其用于在上述处理室内生成等离子体；

高频电源，其对上述等离子体生成天线提供高频电力；

匹配电路，其存在于上述高频电源与上述等离子体生成天线之间；

多个分割天线，其构成上述等离子体生成天线，被分配通过上述匹配电路之后的高频电力；以及

并联谐振电容电路，其被设置成分别与上述多个分割天线并联。

2.一种感应耦合等离子体处理装置，其在处理衬底的处理室内生成感应耦合等离子体，该感应耦合等离子体处理装置的特征在于，具有：

顶板，其设置于上述处理室内上部；

等离子体生成天线，其设置于上述顶板上，由多个分割天线构成；以及

并联谐振电容电路，其被设置成分别与上述多个分割天线并联。

3.根据权利要求2所述的感应耦合等离子体处理装置，其特征在于，

上述顶板由与上述多个分割天线相同数量的分割得到的金属板构成。

4.根据权利要求3所述的感应耦合等离子体处理装置，其特征在于，

上述多个分割天线分别与上述分割得到的金属板对应，形成为直线状且多个并联连接。

5.根据权利要求2所述的感应耦合等离子体处理装置，其特征在于，

上述顶板至少由一个以上的电介质板构成。

6.根据权利要求5所述的感应耦合等离子体处理装置，其特征在于，

上述多个分割天线分别形成为螺旋状。

7.根据权利要求2~6中的任一项所述的感应耦合等离子体处理装置，其特征在于，

上述并联谐振电容电路中的至少一个包括与上述分割天线并联连接的容量固定型电容器。

8.根据权利要求2~6中的任一项所述的感应耦合等离子体处理装置，其特征在于，

上述并联谐振电容电路中的至少一个包括与上述分割天线并联连接的谐振状态控制用的容量可变型电容器。

9.根据权利要求2~8中的任一项所述的感应耦合等离子体处理装置，其特征在于，

还具备分配电流控制用的容量可变型电容器，该分配电流控制用的容量可变型电容器设置于对上述分割天线分配电流的电流分配点与上述分割天线和上述并联谐振电容电路的分配点侧的连接点之间。

10.根据权利要求8所述的感应耦合等离子体处理装置，其特征在于，

上述分割天线包括配置于顶板的中央部的分割天线以及配置于顶板的周缘部的分割天线，

针对配置于上述顶板的周缘部的分割天线，设置上述谐振状态控制用的容量可变型电容器。

11.根据权利要求9所述的感应耦合等离子体处理装置，其特征在于，

上述分割天线包括配置于顶板的中央部的分割天线以及配置于顶板的周缘部的分割天线，

针对配置于上述顶板的周缘部的分割天线，设置上述谐振状态控制用的容量可变型电容器。

12.根据权利要求9所述的感应耦合等离子体处理装置，其特征在于，

上述分割天线包括配置于顶板的中央部的分割天线以及配置于顶板的周缘部的分割天线，

针对配置于上述顶板的周缘部的分割天线，设置上述谐振状态控制用的容量可变型电容器以及上述分配电流控制用的容量可变型电容器。

13.根据权利要求8、10、12中的任一项所述的感应耦合等离子体处理装置，其特征在于，

还具备设置于上述分割天线与接地点之间的电流表，

上述感应耦合等离子体处理装置构成为将上述电流表的监视结果反馈到上述谐振状态控制用的容量可变型电容器，对包括上述分割天线和上述并联谐振电容电路的LC电路的谐振状态进行控制。

14.根据权利要求9、11、12中的任一项所述的感应耦合等离子体处理装置，其特征在于，

还具备设置于上述分割天线与接地点之间的电流表，

上述感应耦合等离子体处理装置构成为将上述电流表的监视结果反馈到上述分配电流控制用的容量可变型电容器，对向上述分割天线的分配电流进行控制。