[发明专利]薄膜晶体管基板与显示器有效
申请号: | 201210464826.4 | 申请日: | 2012-11-16 |
公开(公告)号: | CN103824862A | 公开(公告)日: | 2014-05-28 |
发明(设计)人: | 蔡嘉豪;林志隆 | 申请(专利权)人: | 群康科技(深圳)有限公司;奇美电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 骆希聪 |
地址: | 518109 广东省深圳市宝*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 薄膜晶体管 显示器 | ||
技术领域
本发明有关于薄膜晶体管,且特别是有关于薄膜晶体管基板以及显示器。
背景技术
随着显示科技的日益进步,人们借着显示器的辅助可使生活更加便利,为求显示器轻、薄的特性,促使平面显示器(flat panel display,FPD)成为目前的主流。在诸多平面显示器中,液晶显示器(liquid crystal display,LCD)具有高空间利用效率、低消耗功率、无辐射以及低电磁干扰等优越特性,因此,液晶显示器深受消费者欢迎。
液晶显示器主要是由薄膜晶体管基板、彩色滤光基板与位于两基板之间的液晶层所构成。薄膜晶体管基板具有多个薄膜晶体管分别位于多个像素中。
目前液晶显示器是朝向提高解析度的方向发展,然而,受限于目前光刻技术的解析度极限,薄膜晶体管中的源极与漏极之间的距离无法缩小,因此,薄膜晶体管的尺寸无法缩小,以致于当提高解析度(亦即,缩小各像素的尺寸)时,像素的开口率会大幅下降。因此,如何缩小薄膜晶体管的尺寸是当前相当重要的课题。
发明内容
本发明一实施例提供一种薄膜晶体管基板,包括:一基板;一栅极,位于基板上;一栅绝缘层,位于基板上且覆盖栅极;一有源层,配置于栅绝缘层上,且位于栅极上方;一蚀刻停止层,位于有源层上;一源极,配置于蚀刻停止层上,并电性连接有源层;一第一绝缘层,配置于蚀刻停止层上并覆盖源极;以及一透明电极,包括相连的一漏极与一像素电极,其中漏极是贯穿第一绝缘层与蚀刻停止层并直接接触有源层,以电性连接有源层,像素电极是位于第一绝缘层上。
本发明一实施例提供一种显示器,包括:一薄膜晶体管基板;一基板,与薄膜晶体管基板相对设置;以及一显示介质,形成于薄膜晶体管基板与基板之间。
附图说明
为让本发明的上述目的、特征和优点能更明显易懂,以下结合附图对本发明的具体实施方式作详细说明,其中:
图1绘示本发明一实施例的薄膜晶体管基板的剖面图。
图2绘示图1的薄膜晶体管基板的上视图,图1系绘示图2的薄膜晶体管基板的沿I-I’线段的剖面图。
图3绘示本发明一实施例的薄膜晶体管基板的剖面图。
图4绘示图3的薄膜晶体管基板的上视图,图3系绘示图4的薄膜晶体管基板的沿I-I’线段的剖面图。
图5绘示本发明一实施例的显示器的剖面图。
主要元件符号说明:
100、300~薄膜晶体管基板;
110~基板;
120~栅极;
130~栅绝缘层;
140~有源层;
150~蚀刻停止层;
152、212~开口;
160、160a~源极;
170~第一绝缘层;
180~透明电极;
182~漏极;
184~像素电极;
210~平坦层;
220~共用电极;
230~第二绝缘层;
310~导电层;
500~显示器;
510~薄膜晶体管基板;
520~基板;
530~显示介质;
D1、D2~间距;
T、T1、T2~贯孔;
W1、W2~宽度。
具体实施方式
以下将详细说明本发明实施例的制作与使用方式。然应注意的是,本发明提供许多可供应用的发明概念,其可以多种特定型式实施。文中所举例讨论的特定实施例仅为制造与使用本发明的特定方式,非用以限制本发明的范围。此外,在不同实施例中可能使用重复的标号或标示。这些重复仅为了简单清楚地叙述本发明,不代表所讨论的不同实施例及/或结构之间具有任何关连性。再者,当述及一第一材料层位于一第二材料层上或之上时,包括第一材料层与第二材料层直接接触或间隔有一或更多其他材料层的情形。在图式中,实施例的形状或是厚度可能扩大,以简化或是突显其特征。再者,图中未绘示或描述的元件,可为所属技术领域中具有通常知识者所知的任意形式。
图1绘示本发明一实施例的薄膜晶体管基板的剖面图。图2绘示图1的薄膜晶体管基板的上视图,图1系绘示图2的薄膜晶体管基板的沿I-I’线段的剖面图。值得注意的是,为使图示较为简单易懂,图2仅绘示源极、透明电极(包括漏极与像素电极)、有源层、以及第二绝缘层。
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