[发明专利]流体供应系统

权利要求书

1.一种流体供应系统，其特征在于，具有：

流体供应源，其供应流体；

第一阀装置，其设置于所述流体供应源的下游，并可以切换允许来自所述流体供应源的所述流体的流通的开阀状态和切断所述流体的流通的闭阀状态；

第一线，其与所述第一阀装置的下游侧连接，供所述流体流通；

第二阀装置，其与所述第一线的下游侧连接，并可以切换允许来自所述第一线的所述流体的流通的开阀状态和切断所述流体的流通的闭阀状态；

第二线，其与所述第二阀装置的下游侧连接，供所述流体流通；

第一压力检测机构，其检测所述流体供应源内的压力；

第二压力检测机构，其检测所述第一线内的压力；

第三压力检测机构，其检测所述第二线内的压力；以及

控制机构，其控制所述第一阀装置以及第二阀装置，

所述第一阀装置是具有先导阀以及主阀的先导式阀装置，

所述第二阀装置即使在由所述控制机构设为闭阀状态的情况下，在所述第二线未满限压的情况下也开阀，

所述控制机构在来自所述流体供应源的流体供应开始时，在由所述第三压力检测机构检测的压力未满所述限压的情况下，基于由所述第一压力检测机构、所述第二压力检测机构以及所述第三压力检测机构检测的各压力，算出从所述先导阀开阀结束至所述主阀开始开阀的均压时间，并且基于所述均压时间设定开阀等待时间，在对所述第一阀装置进行打开控制并经过所述开阀等待时间后，对所述第二阀装置进行打开控制。

2.如权利要求1所述的流体供应系统，其特征在于，

所述控制机构在所述气体供应开始时，在由所述第三压力检测机构检测的压力未满所述限压的情况下，由所述第三压力检测机构检测的压力越小则越长地设定所述开阀等待时间。

3.如权利要求1或者2所述的流体供应系统，其特征在于，

所述控制机构在所述流体供应开始时，在由所述第三压力检测机构检测的压力未满所述限压的情况下，由所述第一压力检测机构检测的压力越小则越短地设定所述开阀等待时间。