[发明专利]一种图案匹配方法、装置及线宽测量机

说明书

技术领域

本发明涉及用于测量液晶面板的制造过程，特别是涉及一种图案匹配方法、装置及线宽测量机。

背景技术

在液晶显示器的制造过程中，需要对已经镀膜的玻璃基本上的镀膜的线宽进行测量，以判断镀膜是否成功。此时首先需要将测量样品与设计的图案进行图案匹配的步骤，以进行样品的定位。

一般来说，测量样品为在透明玻璃基板经过镀膜工艺形成多个图案，在图案中包含了很多线段。线宽测量机需要对所述线段的宽度进行测量。为了进行图案的匹配，在该测量样品上的预定位置处进一步镀膜有至少一个用于匹配的标准图案，处于不同位置的标准图案所包含的图案可以不同。相应地，在线宽测量机（或电脑）中存储有该标准图案的设计图案，此处所说的图案匹配，即指将测量样品上的标准图案与对应的已预先存储的设计图案进行比较。如果比较结果为两者相同或达到一定的相似度，则匹配成功。匹配成功后，即可以将测量样品上的图案移至中间位置，进行线宽的测量。

但是，在现有技术中，一旦液晶面板的制程出现不稳定时，则在测量样品上通常显现出一定的灰度，如图1所示，其中A表示测量样品上的标准图案，B表示，预先存储的与其对应的设计图案，其中，标准图案A存在一定的灰度，其与设计图案B存在灰度上的差异，在这种情况下，则常常会导致图案匹配失败。而实际上，这种灰度的差异在液晶面板的制造过程中是可以接受的，故现有的这种情形，容易导致线宽无法进行测量，而延缓进度。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于，提供一种图案匹配方法、装置及线宽测量机，可以提高图案匹配的准确性和成功率。

为了解决上述技术问题，本发明的实施例的一方面提供一种图案匹配方法，用于线宽测量机的测量过程中，包括如下步骤：

读取测量样本上的至少一预定位置上的用于匹配的标准图案，所述测量样本为镀膜有多个图案的透明基板；

将所述测量样本上的所述每一标准图案分别与预存的与所述标准图案对应的多个设计原图进行对比，所述多个设计原图差别在于图案灰度不同；

如果所述测量样本上的标准图案与至少一个设计原图比对成功，则判定所述图案匹配成功，进行后续的线宽测量过程；否则判定所述图案匹配失败。

其中，进一步包括：预先在测量样本的至少一个预定位置上镀膜形成标准图案。

其中，进一步包括：预先存储每一预定位置上的设计原图，每一位置上的标准图案所对应的设计原图为多个，所述每一设计原图所对应的图案灰度不同。

其中，如果所述测量样本上的标准图案与至少一个设计原图比对成功，则判定所述图案匹配完成的步骤具体为：

将所述测量样本上的标准图案与对应的设计原图进行比较，如果相似度达到预定比值，则判定所述测量样本上的标准图案与所述设计原图比对成功，所述相似度达到预定比值可以预先设定。

相应地，本发明的实施例的另一方面提供一种图案匹配装置，用于线宽测量机中，其中，包括：

图像撷取单元，用于读取测量样本上的至少一预定位置上的用于匹配的标准图案，所述测量样本为镀膜有多个图案的透明基板；

匹配处理单元，将所述图像撷取单元读取的测量样本上的每一标准图案分别与预存的与所述标准图案对应的多个设计原图进行对比，所述多个设计原图差别在于图案灰度不同；如果所述测量样本上的标准图案与至少一个设计原图比对成功，则判定所述图案匹配完成。

其中，进一步包括：存储单元，用于存储每一预定位置上的设计原图，每一位置上的标准图案所对应的设计原图为多个，所述每一设计原图所对应的图案灰度不同。

其中，所述匹配处理单元进一步包括：

获取子单元，从所述存储单元获取所述测量样本上的标准图案所对应的多个设计原图；

匹配子单元，将所述标准图案分别与所述获取子单元获取的多个设计原图进行对比；

匹配结果判定单元，用于在所述标准图案与其中一个设计原图相似度达到预定比值时，则判定所述测量样本上的标准图案与所述设计原图比对成功，否则判定比对失败。

其中，进一步包括：

设定单元，用于设定标准图案与设计原图之间比对的相似度的比值，供所述匹配结果判定单元进行比对判定。

相应地，本发明实施例的再一方面提供一种线宽量测机，包括：

图像撷取单元，用于读取测量样本上的至少一预定位置上的用于匹配的标准图案，所述测量样本为镀膜有多个图案的透明基板；