[发明专利]制造薄膜晶体管基板及使用它的有机发光显示装置的方法

权利要求书

1.一种制造薄膜晶体管基板的方法，包括：

直接在玻璃基板上形成聚合物层；

在所述聚合物层上形成钝化层；

在所述钝化层上形成薄膜晶体管阵列；以及

从所述玻璃基板的后表面向所述聚合物层照射激光，将所述玻璃基板与所述聚合物层分离。

2.如权利要求1所述的方法，其中所述聚合物层包括具有第一化学式的聚酰亚胺(PI)材料，

[第一化学式]

其中X为烷基、芳基、烷氧基、酰基、芳烷基、氨基、芳氨基、烷氨基、芳烷氨基、烷氧基、芳氧基或芳烷氧基，

其中m为等于或大于1并且等于或小于10000的整数，并且

其中Y为由第二化学式表示的二价芳基部分，

[第二化学式]

其中Z选自由羰基、磷酸基、酸酐基、硫醇基以及它们的混和物组成的组。

3.如权利要求2所述的方法，其中X包括-O-、-CO-、-S-、-SO₂-、-C(CH₃)₂-、-CONH-、-(CH₂)_n1-、-O(CH₂)_n2O-、-COO(CH₂)_n3OCO-以及卤素的至少之一，并且n1、n2和n3各独立地为等于或大于1且等于或小于100的整数。

4.如权利要求1所述的方法，其中所述薄膜晶体管阵列包括栅极电极、源极电极、漏极电极以及半导体层，并且所述半导体层包括无定型硅和/或多晶硅。

5.如权利要求4所述的方法，其中通过将温度升至大约400℃至大约500℃的范围，使半导体层的部分结晶。

6.如权利要求1所述的方法，其中所述玻璃基板是可重复利用的。

7.一种制造有机发光显示装置的方法，包括：

直接在玻璃基板上形成聚合物层；

在所述聚合物层上形成钝化层；

在所述钝化层上形成薄膜晶体管阵列；

形成电连接至所述薄膜晶体管阵列的第一电极；

在所述第一电极上形成有机发光层和第二电极；以及

从所述玻璃基板的后表面向所述聚合物层照射激光，将所述玻璃基板与所述聚合物层分离。

8.如权利要求7所述的方法，其中薄膜晶体管阵列包括栅极电极、源极电极、漏极电极以及与所述源极电极和所述漏极电极接触的半导体层，并且所述第一电极电连接至所述源极电极和所述漏极电极之一。

9.如权利要求7所述的方法，其中所述聚合物层包括具有第一化学式的聚酰亚胺(PI)的材料，

[第一化学式]

其中X为烷基、芳基、烷氧基、酰基、芳烷基、氨基、芳氨基、烷氨基、芳烷氨基、烷氧基、芳氧基或芳烷氧基，

其中m为等于或大于1并且等于或小于10000的整数，并且

其中Y为由第二化学式表示的二价芳基部分，

[第二化学式]

其中Z选自由羰基、磷酸基、酸酐基、硫醇基以及它们的混和物组成的组。

10.如权利要求9所述的方法，其中X包括-O-、-CO-、-S-、-SO₂-、-C(CH₃)₂-、-CONH-、-(CH₂)_n1-、-O(CH₂)_n2O-、-COO(CH₂)_n3OCO-以及卤素的至少之一，并且n1、n2和n3各独立地为等于或大于1且等于或小于100的整数。

11.如权利要求7所述的方法，其中所述半导体层包括无定型硅和/或多晶硅。

12.如权利要求11所述的方法，其中通过将温度升至大约400℃至大约500℃的范围，使半导体层的部分结晶。

13.如权利要求7所述的方法，其中所述玻璃基板是可重复利用的。