[发明专利]光照射装置

权利要求书

1.一种光照射装置，

具备：灯罩，内置有朝向沿着基板传送路径传送的处理对象基板的一面照射光的准分子灯；和

气体供给单元，向上述处理对象基板与上述准分子灯之间供给惰性气体，

在上述基板传送路径上的上述灯罩的上游侧，与该灯罩相邻地形成有压力缓冲空间，

上述光照射装置的特征在于，

在基板传送路径上的压力缓冲空间的上游侧设置有空气排出单元，该空气排出单元排出沿着处理对象基板的被光照射的一面流动的空气。

2.如权利要求1所述的光照射装置，其特征在于，

在上述基板传送路径上的上述空气排出单元的上游侧设置有灰尘去除单元，该灰尘去除单元通过向上述处理对象基板的一面喷射空气来从该处理对象基板的一面去除灰尘。

3.如权利要求1或2所述的光照射装置，其特征在于，

设置有空气流入限制板，限制空气从上述基板传送路径上的上述压力缓冲空间的上游向该压力缓冲空间流入。