[发明专利]有机材料沉积系统

权利要求书

1.一种有机材料沉积系统，该有机材料沉积系统包括工艺室和传输室，所述工艺室中实施将有机材料沉积到基材上的工序，所述基材在所述传输室传输到所述工艺室中；

其中，基材支座支撑所述基材，遮罩支座放置在所述基材支座之下并且支撑遮罩，在所述工艺室的上部的第一侧和第二侧分别设置有放置在所述基材支座之上并且校准所述遮罩和所述基材的基材校准块，有机材料沉积源在所述工艺室的底部在所述第一侧和所述第二侧之间水平地往复运动以将所述有机材料沉积到所述基材上，机械手可旋转地安装在所述传输室中以倾斜地将所述基材传输到分别位于所述第一侧和所述第二侧的所述基材支座上。

2.根据权利要求1所述的有机材料沉积系统，其中，所述基材校准块将所述基材支座旋转到第一旋转位置，以将通过机械手倾斜地传输来的所述基材安置到所述基材支座上，并且又将所述基材支座旋转到沉积位置，以对所述基材实施沉积工序。

3.根据权利要求2所述的有机材料沉积系统，其中，所述基材校准块将所述基材支座旋转到所述第一旋转位置，因此能够倾斜地取出在所述沉积位置完成沉积工序的所述基材。

4.根据权利要求2或3所述的有机材料沉积系统，其中，所述遮罩支座通过所述基材校准块随着所述基材支座一起旋转。

5.根据权利要求2所述的有机材料沉积系统，其中，在实施所述沉积工序之前，所述基材校准块校准安置在旋转到所述沉积位置的所述基材支座上的所述基材和通过所述遮罩支座支撑的所述遮罩。