[发明专利]有机材料沉积系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种有机材料沉积系统，尤其是涉及一种用于在传输室中驱动机械手以将基材传输到工艺室中的结构简化，从而当对工艺室中的两个基材实施有机材料沉积工序时，用于基材的有机材料沉积工序的换向时间最短的有机材料沉积系统。

背景技术

有机电致发光显示设备（organic electroluminescent display device）是自发射显示设备，由于它具有广阔视角、良好的对比度和快速反应时间的优点而引起关注。

如通常已知的，设置在有机电致发光显示设备中的有机电致发光设备（organic electroluminescent device）构造为包括彼此对置的第一电极和第二电极（例如，正电极和负电极）以及形成在电极之间的中间层。中间层可以包括多个层，例如空穴注入层（hole injection layer）、空穴传输层（hole transportlayer）、发光层、电子传递层和电子注入层等。

为了制造具有上述结构的有机电致发光设备，有机薄膜例如形成在基材上的空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传递层、电子注入层或电极可以通过利用沉积器的沉积方法形成。

用于有机材料的沉积方法通常通过在真空室中安装基材并通过加热充填有待沉积材料的加热容器使得所述待沉积材料蒸发或升华来实现。也就是说，具有形状与在基材上形成的有机材料的图案类似的开口的遮罩在基材之前对准，有机材料蒸发或升华到基材，从而使有机薄膜或类似物沉积在基材上。

为了将有机材料沉积工序运用到基材上，需要有机材料沉积系统。有机材料沉积系统包括工艺室、传输室和装载/卸载室或载荷封闭室，有机材料沉积工序在工艺室中实施到基材上，基材通过传输室传输到工艺室并从工艺室取出，装载/卸载室或载荷封闭室用于将基材装载到传输室或者从传输室卸载基材。

而且，最近通过将两个基材装载到工艺室中并且同时或连续地实施有机材料沉积工序，努力实现了在基材上沉积有机材料的产出率的增加。

图1普通的有机材料沉积系统的平面图，图2是工艺室的正视图，在该工艺室中有机材料沉积工序应用于两个基材。

如图1和图2所示，普通的有机材料沉积系统100包括工艺室20、传输室10和装载/卸载室或载荷封闭室，工艺室20中有机材料沉积工序施加在两个基材，传输室10中基材转移到工艺室20中或从工艺室中取出基材，装载/卸载室或载荷封闭室转载或者卸载与传输室10关联的基材。

并且，开启/关闭单元1a，2a设置在装载/卸载室或载荷封闭室和传输室10之间，并且开启/关闭单元3a设置在传输室10和工艺室20之间，因此基材可以在保持真空状态的情况下转移和取出。

在工艺室20中，分别设置的基材支座22a、22b用于在上部的第一侧和第二侧支撑基材21a、21b，分别设置的遮罩支座24a、24b用于直接在基材支座22a、22b之下支撑遮罩23a、23b。此外，基材校准块28a、28b设置在基材支座22a、22b之上，移动基材支座22a、22b或遮罩支座24a、24b，从而校准基材21a、21b和遮罩23a、23b。

从放置在工艺室20底部的有机材料沉积源25蒸发的有机材料沉积在转移到上述构造的工艺室20中的两个基材21a、21b之上。有机材料沉积源25容纳在沉积源容纳单元27中，沉积源容纳单元27通过移动单元29在工艺室20中水平地往复运动。

这样，有机薄膜可以同时或者顺序地存储在两个基材21a、21b上，该两个基材21a、21b通过在工艺室20中放置在第一上侧和第二上侧之上的基材支座22a、22b支撑。

而且，转移到工艺室20中的两个基材通过设置在传输室10中的机械手11运载。机械手11构造为自身可旋转，并且具有提高空间利用的连接。同时，机械手11设置为通过形成在传输室10底部的活动块11a水平地往复运动。

这样，机械手11必须沿着活动块11a向左或向右移动，以接收来自装载/卸载室或载荷封闭室的基材，然后将基材传递给位于工艺室20中的两个基材支座22a、22b。

换言之，机械手11沿着活动块11a向左移动（朝图1中的（a）方向），以将基材传递到工艺室20的第一侧（左侧），然后沿与有机材料沉积源25水平移动的方向垂直的直线方向传输基材，从而将基材安置在放置于第一侧的基材支座22a上。